Вакуумная техника

Под общ. ред. Р. А. Нилсндера. М., «Энергия», 1971. 392 с. с илл. Книга представляет собой практическое руководство по конструированию вакуумных систем. В ней изложены общие принципы конструирования вакуумной аппаратуры и описаны свойства материалов, используемых при ее изготовлении. Приведены примеры конструктивного выполнения различной вакуумной аппаратуры отечественного и зарубежного производства. Описаны сборка, отладка и правила эксплуатац...

М., Машиностроение, 1977, 66 с. В работе приведена классификация вакуумметров. Рассмотрен принцип действия и основные характеристики вакуумметров следующих типов: жидкостных, деформационных, компрессионных, радиометрических, вязкостных, тепловых и ионизационных (электронных, ионизационных, магнитных, электроразрядных, радиоизотопных). Сформулированы требования к вакуумметрам, выполняющим роль датчиков в автоматизированных вакуумных процессах. О...

Обзорная информация М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1979, 38с. В обзоре систематизированы сведения по комбинированным электрораразрядным rеттерно- ионным насосам и новейшим техническим peшениям, касаюшимся маrниторазрядных и reттерных испарительных насосов, их достоинства и недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические характеристики. В обзоре использованы опубпикованные отечественные и зарубежные издания и патентные материалы Обзор предиазн...

Статья. Опубликована в ПТЭ, 1964, №04, с. 5-13. Описаны масс-спектрометры: омегатрон, фарвитрон, радиочастотный, времяпролетный, электрический фильтр масс и др. Приведены основные характеристики, указаны достоинства и недостатки этих приборов.

Казань, 10-12 апреля 2007 г., 154с. Пленарные доклады. С.Б. Нестеров, профессор МЭИ, зам.директора НИИВТ им. С.А. Векшинского. Тенденции развития вакуумной техники, криогенной техники и нанотехнологии. Е.Н. Капустин, генеральный директор, А.С. Данилин, начальник НТЦ ОАО «Вакууммаш». Новое оборудование и перспективные разработки ОАО «Вакууммаш». К.Е. Демихов, профессор, Н.К. Никулин, доцент МГТУ им. Н.Э. Баумана. О создании и перспективах развития...

М.: Машиностроение, 1987, 208 с.: ил. Изложены теоретические основы способов получения покрытий из сплавов в вакууме, приведены основы технологии нанесения различных покрытий из сплавов на металлы и неметаллы. Обобщены данные исследований влияния условий осаждения покрытий на их пористость и защитные свойства, а также электрохимического поведения покрытий в агрессивных средах. Рассмотрены методы получения вакуумных многокомпонентных пленок и покр...

Справочник-атлас. М.: Машиностроение, 1968, 200 с. Приведены физико-механические характеристики материалов (металлов и неметаллов), применяемых для изготовления элементов вакуумных систем, а также кратко рассмотрены вопросы вакуумной сварки и пайки. Даны примеры конструкций и нормализованные ряды сильфонов, фланцевых соединений, вакуумных вводов, вентилей и затворов. Приведены характеристики и примеры конструкций вакуум-насосов и агрегатов различ...

М.: Машиностроение, 1992, 480 с. Второе издание. Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения давления в ваку...

Cambridge University Press. 1989. 181 p. In the only up-to-date book concerning high vacuum systems for chemists, Plesch describes the fundamental principles and construction techniques of this important method of isolating air-sensitive chemicals from the atmosphere. The intent of this instructional book is to enable chemists to decide whether high vacuum techniques (HVT) can benefit them and if so, how they can construct and implement an HV sy...

Государственное энергетическое издательство Москва-Ленинград 1949 г. Настоящая книга посвящена изложению элементарной теории и физики действия различных электровакуумных приборов, причем особое внимание обращено на радиотехнические приборы. Предназначена книга для студентов техникумов и лиц, желающих самостоятельно изучить принципы и теорию действия электровакуумных приборов. Значительное количество таблиц по электровакуумным приборам, приведенны...

ГОУ ВПО Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2007. - 88 с. Лабораторный практикум включает описание 6 лабораторных работ по основным разделам лекционного курса, в которых дана в необходимом объеме теоретическая часть, методика выполнения и контрольные вопросы. Предназначен для студентов, обучающихся по направлениям 210100 Электроника и микроэлектроника и 150600 Материаловедение и технология новых материалов при изучении дисциплины Техника высо...

Теория, практика, применение в промышленности и свойства материалов. Москва-Ленинград: Государственное энергетическое издательство, 1960. - 92 с. Под редакцией Р.А. Нилендера. В книге рассмотрены вопросы техники получения и измерения высокого вакуума, методы определения быстроты откачки, обезгаживания и газопоглощения; приведены примеры практического применения техники высокого вакуума в промышленности.

Казань: Издательский центр Арт-кафе, 2007. с. 96. В каталоге содержатся сведения о вакуумном оборудовании, выпускаемом ОАО «ВАКУУММАШ». Каталог предназначен для инженерно-технических работников проектных организаций, проектирующих предприятий, на которых применяется вакуумное оборудование, предприятий, эксплуатирующих это оборудование, а также для работников плановых и сбытовых организаций.

М.: Машиностроение, 1967. - 224 с. В книге изложены теоретические основы метода расчета ва-куумно-сублимационной аппаратуры. Приведены таблицы физико-технических параметров различных веществ, необходимые для расчета промышленных аппаратов. Рассмотрены основные типы современного промышленного сублимационного оборудования и приведены примеры его расчета. На основании механизма спонтанного испарения и функции распределения Максвелла—Больцмана получе...

Wiley, New York, 1998, 1121 Pages Foundations of Vacuum Science and Technology offers a comprehensive survey of the physical and chemical principles underlying the production, measurement, and use of high vacuums. It also provides a valuable critical survey of important developments that have occurred in the field over the past several decades. Reviews the laws of kinetics, the principles of gas flow over a wide range of pressures, and the beha...

М. -Л., издательство. Энергия",1965г. , 400 с. В книге обобщены и систематизированы материалы по разработке, исследованию и эксплуатации вакуумных пароструйных насосов, даны современные представления о механизме работы насосов, отражены последние достижения в области конструирования насосов. Основное внимание уделено описанию различных физических явлений, происходящих в насосах, особенностей их работы, расчету и конструированию насосов Подробно а...

Статья. Опубликована в ЖТФ, 2009, том 79, вып. 7 с.101-107 Лит. -20 наим. Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии рассмотрено влияние материала подложки на структурно-фазовое состояние и твердость нитридных и боридных пленок. Утверждается, что степень этого влияния зависит от метода напыления, определяющего ту или иную энергию ионов, поступающих на подложку и их энергию связи с атомами...

Статья. Опубликована в Физика твердого тела. Вестник Нижегородского университета им. Н. И. Лобачевского, 2007, № 1, с. 52–56 Авторы: И. А. Цыганов, А. И. Позднякова, Э. Рихтер, М. Ф. Майтц Плазменно-иммерсионная ионная имплантация и осаждение металлов (MePIIID) является эффективным методом улучшения поверхностных свойств различных материалов. Были исследованы структура, фазовый состав и поверхностные свойства (смачиваемость, поверхностная энергия...

Рассмотрены основные методы получения тонких пленок: физические методы осаждения: термическое испарение за счет резистивного нагрева; электронно-лучевое испарение; лазерное испарение; ионно-лучевое распыление; катодное распыление; магнетронное распыление и химические методы осаждения: осаждение из газовой фазы; метод распылительного пиролиза; жидкофазная эпитаксия; электролиз; золь – гель метод. 18с.

Книга предназначена для инженерно-технических работников конструкторских бюро и предприятий проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она может быть полезна научным работникам специализирующимся в области вакуумного аппаратостроения М.: Машиностроение, 1974г-571с. Ил.533, табл .109., список лит.70 назв.

М.: Энергия, 1969. - 272 с.: ил. Пер. с англ. Н. Б. Шпаро и А. М. Ямпольского. Под общей редакцией Р. А. Нилендера. Аннотация издательства: На современном научном уровне излагаются основы техники получения и измерения высокого вакуума, рассматриваются практические методы расчета вакуумных систем и их отдельных элементов. Подробно описаны процессы взаимодействия атомов и ионов с поверхностями твердых тел при низких давлениях. Книга предназначена д...

2nd Edition, revised and expanded. N.Y. : Marcel Dekker, 1997. – 540 p. ISBN: 978-0824798345. Introduction. Properties of Gases. Fluid Flow and Pumping Concepts. Vacuum Systems. Coarse Vacuum Pumps. Vapor Jet (Diffusion) Pumps. Turbomolecular Pumps. Cryogenic Pumps. Gettering and Ion Pumping. Overloading of Vacuum Pumps. Ultrahigh Vacuum. Vacuum Gauges and Gas Analyzers. Leak Detection. Publisher's review: Offering a basic understanding of eac...

Berlin, Heidelberg: Springer, 2008. - X, 350 p. ISBN 978-3-540-74432-0. Designing of Evacuation Systems. Vacuum Pumps. Simulation of Pressures in High-Vacuum Systems. Outgassing. Phenomena Induced by Electron Irradiation. Vacuum Gauges. Microdischarges in High Vacuum. Emitters for Fine Electron Probes.

Academic Press, 1997. San Diego, London, New York, Tokyo, Toronto. - XXII, 839 p. ISBN: 0-12-352065-7. Contents Fundamentals of Vacuum Technology and Surface Physics. Creation of Vacuum. Vacuum Measurements. System Design and Components. Vacuum Applications. Large-Scale Vacuum Based Processes. Publisher's review The Handbook of Vacuum Science and Technology consists of the latest innovations in vacuum science and technology with a strong orient...

М.: Энергоатомиздат, 1984 г. 240 с. В данной монографии непосредственно рассматриваются приборы, почти исключительно используемые для измерений высокого и сверхвысокого вакуума — ионизационные и магнитные электроразрядные вакуумметры. Приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований, раскрывающие метрические характеристики приборов и особенности физических процессов в них, конструкции вакуумметрических течеискателей с применен...

МГИРЭА (ТУ), Москва, 2011. Преподаватель: Терехов В. А. - 11 страниц. Скрещенные электрические и магнитные поля. Вычисление траектроии движения электрона в скрещенных полях. Циклотронная частота, циклоида, переносная скорость. Критическая индукция магнитного поля. Определение удельного заряда электрона при движении в скрещенных полях. Дисциплина - Вакуумная и плазменная электроника.rn

Москва-Ленинград, Государственное научно техническое издательство, 1931 , 205 с Старая, редкая и очень полезная книга по вакуумным приборам. Несмотря на почтенный возраст книга представляет собой одно из лучших руководств по вопросам вакуумтехники, отличается чрезвычайно ясным и легким изложением, и несмотря на сравнительно небольшой объем, содержит все существенное в этой области. Перелопатив практически всю доступную информацию по вакуумной т...

Библиотечка «Квант». Вып. 58 — М.: Наука, 1987. —128 с. Популярно рассказано о том, что такое вакуум, когда и как возникло это понятие и как развивалась вакуумная техника в дальнейшем. Рассмотрены процессы на поверхности твердых тел, процессы в разреженных газах и некоторые из процессов, происходящие в объеме вещества и существенные для работы вакуумных приборов и установок. Рассказано о том, как получают и измеряют вакуум, о применении вакуума...

Московский государственный институт радиоэлектроники, электроники и автоматики Дисциплина - Вакуумные плазменные технологические устройства М. : 2002г. , 30 стр.

Херсонский национальный технический университет Специальность-090.212 Електронне машинобудування 69 стр. Титульный лист на украинском языке. Данный проект состоит из разделов: Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок. Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устр...

Движение электрона в однородных полях. Анализ энергии электронов методом тормозящего поля. 20с, документ ворд с графиками и иллюстрациями, Сдан в Москве (МИРЭА), по предмету: Вакуумная и плазменная электроника. курсовой проект раскрывает тему задания, состоит из следующих частей : Движение электронов в вакууме в электрическом магнитном полях. Движение электрона в однородном электрическом поле. Движение электрона в ускоряющем поле. Движение эле...

М.: Машиностроение, 1978. - 76 с.: ил. В брошюре кратко излагаются важнейшие понятия молекулярно-кинетической теории газов и вакуумной техники. Формулируются принципы, цели и особенности проектировочных расчетов вакуумных систем различных типов. Анализируются источники газовой нагрузки, методика выбора и и сравнительные характеристики откачных средств. Рассматриваются методы определения остаточного давления в вакуумных камерах, проводимости элеме...

М.: Машиностроение, 1977. - 64 с.: ил. В брошюре изложены принципы действия и основные характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Рассмотрены наиболее распространенные типы насосов с термическим испарением геттера, магнитных электроразрядных и комбинированных насосов. Описаны метода расчета и проектирования, конструктивно-технологические решения и важнейшие параметры насосов, особенности их применения и эксплуатации.

М.: Машиностроение, 1977. - 40 с.: ил. Содержание Измерение полных абсолютных давлений. Измерения парциальных давлений. Измерения производительности и быстроты откачки. Количественная оценка герметичности вакуумных объектов. Десорбционная масс-спектрометрия. Проблемы обеспечения единства вакуумных измерений. Государственный специальный эталон. Общесоюзная проверочная схема. Поверка и градуировка вакуумметров. Задачи метрологии вакуумны...

М.: Энергия, 1970. - 112 с., ил. Рассмотрены ионные магниторазрядные насосы с холодными катодами, в которых используется разряд Пеннинга. Основное внимание уделено физическим принципам работы подобных насосов, вопросам их конструирования и эксплуатации. Содержание. Магнито-изолированный газовый разряд. Диодный магниторазрядный насос. Эксплуатация магниторазрядных насосов. Методы улучшения характеристик магниторазрядных насосов.

М.: ЦНИИ "Электроника", 1984. - 60 с.: ил. - Обзоры по электронной технике. Серия 7. "Технология, организация производства и оборудование". - Вып. 10 (1035). Оглавление Параметры разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях. - Основные физические представления и аппроксимации. - Решение уравнений разряда. - Оптимизация параметров магниторазрядных приборов. Насосы на основе разряда в магнитном поле. - Магниторазрядные насосы. - Комби...

Учебное пособие. - М.: Высшая школа, 1981. - 55с.: ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). В учебном пособии рассмотрены основные виды вакуумного оборудования со шлюзовыми системами, объяснена сущность процессов шлюзования, а также дан краткий анализ их достоинств и недостатков. Приведены конструктивные схемы и сравнительные характеристики шлюзовых систем, изложены основные принципы их компоновки и работы в технологическом оборудовании, а...

Учебное пособие (лабораторный практикум). СПб: Изд-во СПбГТУ, 2000. - 19 с.: ил. Предназначено для магистров по специальности "Вакуумные машины и установки". Соответствует государственному образовательному стандарту по специальности 551800 "Технологические машины и оборудование". Главное внимание уделено описанию экспериментальной аппаратуры и процессу выполнения лабораторных работ. Кроме того, излагаются положения, раскрывающие физико-техническу...

Прекрасно выполненный курсовой проект с чертежами, графиками и расчетами в EXCEL, по методичке МГОУ. Предмет - Вакуумная и плазменная электроника. Преподаватель - Иванов В. В. Оценка - зачет.

В работе раскрыта тема задания, в ворде, с рисунками,23стр. , - Движение заряженных частиц в скрещенном электрическом и магнитном полях. Уравнение траектории-. Группировка электронов в скрещенных полях. Усилитель бегущей волны типа М. Отличие от ЛБВ типа О. Принципиальная схема ЛБВ типа М, общее описани. Усиление ЛБВ типа М. Применение ЛБВ типа М. Лампа обратной волны типа М. Принципиальная схема ЛОВ типа М, общее описание. Пусковые усл...

Движение электрона в скрещенных полях. Управление с помощью магнитной оптики. Сдан в г. Москве (МИРЭА), Ворд, 12 с., иллюстрации, при написание использована литература: А. А. Щука"Электроника".

IOP, Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia, 1998, 189 c. Книга представляет собой курс лекций по вакуумной технике (University of Strathclyde, UK). Содержит следующие разделы: Газы Газы в вакуумных системах Насосы Измерение давления Вакуумные материалы и компоненты Очистка Течи и их поиск Системы

М.: Машиностроение, 1989. - 56 с. Рассмотрено применение электронных пучков в электронно- литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно -л...

Изложена технология изготовления нейтронных трубок. Приведены основные сведения о физических принципах работы, технических характеристиках и конструктивных особенностях различных типов ускорительных нейтронных трубок, о применение их электронной промышленности

М.: "Машиностроение", 1985. - 72 с.: ил. Оглавление. Техника течеискания, общие положения. - Основные виды нарушения герметичности. - Задачи техники течеискания и пути их решения. - Способы количественной оценки течей. - Формулировка требования к герметичности. - Возможные причины невыявления течей, внутренние течи. Методы и аппаратура течеискания. - Общая характеристика методов течеискания. - Масс-спектрометрический метод и аппаратура теч...

1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...

2009 г. - 6 с.: ил. В обзоре рассмотрено современное состояние и тенденции развития безмасляных вакуумных насосов: форвакуумных (когтевых, винтовых, многоступенчатых насосов Рутса) и высоковакуумных (турбомолекулярных, криогенных и магниторазрядных). Отмечается, что применение безмасляных средств откачки позволяет добиться более высокого уровня качества продукции в ряде отраслей промышленности, в частности, в микроэлектронике. Рассматриваются осо...

М.: Изд-во МЭИ, 2001. - 180с. Учебное пособие предназначено для студентов института теплоэнергетики и технической физики МЭИ. Пособие содержит подробное описание методов расчета сложных вакуумных систем. С помощью данных методов решаются задачи по определению проводимости и быстроты действия крионасосов и криоловушек, распределения молекул в объеме и на поверхности. Рассматриваются примеры применения данных методов для решения различных прикладн...

СПб: СПбГТУ, 2000. - 35 стр. Учебное пособие соответствует гос. стандарту по направлению 552700 "Энергомашиностроение". Предназначено для студентов механико-машиностроительного и энергомашиностроительного факультетов Санкт-Петербургского государственного технического университета. Рассмотрены методические указания к 6 практическим работам. Содержание. Исследование газовыделения вакуумных материалов. Определение вакуумных характеристик гелиевого...

В книге описаны теоретические основы кинетической теории газов, даны характеристики существовавших на тет год вакуумных насосов и систем откачки, приведены практические формулы расчета вакуумных систем, систем напуска. А так-же книга является неплохим справочником по вакуумной технике

В книге описаны теоретические основы кинетической теории газов, даны характеристики существовавших на тет год вакуумных насосов и систем откачки, приведены практические формулы расчета вакуумных систем, систем напуска. А так-же книга является неплохим справочником по вакуумной технике

Л.: Ленинградский политехнический ин-т, 1989. - 83 с.: ил. Методические указания к лабораторным работам предназначены для студентов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение". В указаниях к каждой лабораторной работе даются краткие сведения по теории изучаемого материала. Оглавление. Конструкции коммутирующих элементов вакуумных систем. Конструкции вакуумных насосов. Приборы для измерения вакуума. Приборы для измерения парциаль...

Волков А. Н., Дьяченко В. А., Клюкин В. Ю. Вакуумная техника. Методы, технологические процессы и оборудование для нанесения покрытий: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996. - 44 с. Для студентов конструкторских специальностей 5-го курса механико-машиностроительного факультета, изучающих курсы "Вакуумная техника", "Оборудование для производства электровакуумных приборов", "Оборудование для производства полупроводниковых приборов". Пособие может...

– М.: Энергоиздат, 1981. – 432 с., ил Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике вакуума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, методы измерения парциального и общего давлений, методы обнаружения мест натекания.

Конспект лекций / И. В. Белокрылов. Омск: Изд-во ОмГТУ, 2007. 48 с. 1. Физика вакуума Основные термины и определения. Давление в вакууме. Газовые законы. Частота соударений молекул с поверхностью. Распределение молекул газа по скоростям. Сре6дняя длина свободного пути. 2. Сорбционные явления в вакууме Энергия взаимодействия. Время адсорбции. Конденсация и испарение. Адсорбция газов и паров. Степени покрытия поверхности. Растворимость газов в твер...

М.: Машиностроение, 1980. - 51 с.: ил. В брошюре рассмотрены основные принципы работы пароструйных вакуумных насосов. Даны классификация насосов, их назначение и области применения. Рассмотрены конструкции, принципы действия, основные характеристики эжекторных, бустерных, диффузионных насосов и агрегатов. Приведены зависимости характеристик насосов от режимов их работы и условий эксплуатации. Представлены справочные таблицы о выпускаемых промышле...

М.: Машиностроение, 1980. - 53 с.: илл. Описаны принципы действия, конструктивные особенности и классификация механических насосов низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. Освещены вопросы конструирования и расчета насосов различных типов. Рассматриваются перспективы развития молекулярных и турбомолекулярных насосов.

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1981. - 104 с.: илл. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). В обзоре рассматриваются современное состояние и тенденции развития высоковакуумных насосов двух перспективных классов - турбомолекулярных и электрофизических. Приводятся конструктивно-физические характеристики насосов, их основные параметры н эксплуатационные особенности. Наибольшее внимание уделяется насосам, выпускаемым в промы...

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1988. - 55 с.: ил. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулиро...

М.: «Энергия», 1972. - 456 с.: ил. Под ред. Р. А. Нилендера. Пер. с англ. В книге приводятся сведения по технологии изготовления электронных ламп и других вакуумных приборов, содержатся ряд рецептов изготовления химических растворов и большое количество таблиц, характеризующих физические и химические свойства различных материалов и химических соединений. Содержание. Очистка деталей электронных приборов и вакуумных систем. Электролитическое покрыт...

М.: «Энергия», 1976. - 152 с.: ил. В книге излагаются физические представления о процессе криоконденсационной откачки. Рассматриваются принципы действия, способы охлаждения, характеристики и параметры крионасосов. Большое внимание уделено вопросам конструирования и основам расчета крионасосов. Книга представляет интерес для широкого круга инженеров и научных работников, специализирующихся в области вакуумной техники и смежных с ней областях.

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1990. - 26 с., ил. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). В обзоре проведен анализ развития безмасляных форвакуумных насосов. Показано, что мерой чистоты создаваемого насосами вакуума служит отсутствие в спектре остаточных газов элементов с массовыми числами свыше 44. Рассмотрены конструкции современных безмасляных механических насосов, выпускаемых различными зарубежными фирмами. Приведены...

М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...

М.: "Высшая школа", 1978. - 239 с.: ил. Учебник для технических училищ. В книге рассмотрены основные виды вакуумного и технохимического оборудования, объяснена сущность технологических процессов металлизации деталей и узлов электровакуумных приборов. Особое внимание уделено вопросам производственной гигиены, механизации и автоматизации технологических процессов, техники безопасности, стандартизации и контроля качества на предприятиях электронной...

Учебное пособие. — СПб.: Издательство «Лань», 2004. — 464 с.: ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература). В пособии изложены физико-технические основы вакуумной электроники, составляющие ее научный базис и определяющие с единых позиций принципы действия вакуумных электронных приборов и устройств различного назначения. Книга является учебным пособием для студентов высших учебных заведений, обучающихся по электронным специальностям, закрепл...

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1989. - 28 с.: ил. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). Проанализированы зарубежные и отечественные материалы по производству рабочих жидкостей для вакуумных механических, бустерных, диффузионных паромасляных и турбомолекулярных насосов, опубликованные в 1984-1987 гг. Приведены различные физико-химические характеристики и рассмотрены области применения рабочих жидкостей, выпускаемых за р...

В работе представлены конструкции ахроматических просветляющих покрытий, наносимых в вакууме, методом испарения. Подобные покрытия применяются в различных оптических системах. Опубликованы в "Оптико-механическом журнале" (ОМП). 13 страниц

Методические указания по самостоятельному изучению раздела курса "Основы технологии производства изделий электронной техники" для студентов дневной формы обучения специальности Электронное машиностроение. В 3х томах. Уральский государственный университет, Механико-машиностроительный факультет, Электронное машиностроение, 1991 год. Введение. технология изготовления деталей Элекровакуумных приборов. получение спаев металла со стеклом и керамикой. о...

М.: Энергоатомиздат, 1988г. , 280с. Рассмотрены принципы работы испарительных геттерных, ионно-геттерных, магнитных электроразрядных, комбинированных насосов. Изложены принципы и критерии их оптимизации, типичные эксплуатационные режимы.

Саксаганский Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. — М.: Атомиздат, 1980. — 216 с. Посвящена основам теории, методам расчета и оптимизации сложных высоковакуумных систем. Изложены теоретические модели и базирующиеся на них способы определения параметров сильно разреженного газа и характеристик элементов вакуумных систем. Приведены методика и результаты вычислений пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных...

Котельников Ю. Н. Автоматизация вакуумно-технологических процессов. М., «Машиностроение», 1977, 40 с. Брошюра знакомит инженерно-технических работников с современными методами и средствами автоматизации вакуумного оборудования и процессов. Описаны основные пути автоматизации элементов вакуумного оборудования и средства управления процессами. Особое внимание уделено автоматизированным системам управления технологическими процессами (АСУТП) на осн...

Введение Принцип действия. Устройство, параметры и характеристики. Характеристики цветных люминофоров для ВЛИ.

Управление электронными потоками (способы управления). Диагностика параметров плазмы. Электрические способы управления электронным потоком. Способы, основанные на взаимодействии электронного потока с твердыми телами.

Цейтлин А. Б. Вакуумные пароструйные насосы. Москва, 1960, 111 с. Бурное развитие науки и промышленности в последние десятилетия вызвало к жизни новую отрасль техники — вакуумную технику. Развившись главным образом в послевоенные годы, вакуумная техника стала быстро проникать в различные отрасли народного хозяйства, и в настоящее время трудно назвать такую отрасль промышленности, где бы п тон или иной мерс не использовалась вакуумная техника. Сто...

Розанов Л. Н. Вакуумная техника: Учеб. для вузов по спец. «Вакуумная техника». — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высш. шк. 1990. — 320 с.: ил. ISBN 5-06-000479-1 В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки, принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин н установок, основы конструирования ваку...

Руководство по испытанию вакуумной техники на герметичность. Описаны основные методы обнаружения течей. Материал рассчитанный на круг лиц занимающихся эксплуатацией вакуумного оборудования.

Пер. с нем. под ред. М. И. Меньшикова. – МИ.: Мир, 1966. – 287 с. Книга Тренделенбурга «Сверхвысокий вакуум», вышедшая в ФРГ в 1963 г., является одной из первых монографий по этому вопросу, в которой автору удалось на достаточно высоком научном уровне обобщить и систематизировать материал, имевшийся ко времени написания книги. Среди опубликованных на русском языке руководств по вакуумной технике эта книга, пред-ставляющая вполне определенный само...

Процесс конденсации паров испаряемого материала на поверхности детали и последующее структурообразование формирующегося слоя происходят в условиях постоянного внедрения молекул газа, имеющихся в объеме камеры. Влияние подобных примесей на свойства слоев несомненно, хотя и неоднозначно, как неоднозначен и механизм появления во время процесса испарения такого активного восстановителя, как Н2, имеющего в отличие от СО2 стационарное значение давления...

М: Техносфера, 2007. - 176 с. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного м...

М.: Энергия , 1967. - 312 стр. с илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении т...

М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...

Под ред. Меньшикова М. И., перевод с нем. Мартынсона Е. Н., Издательство иностранной литературы, М. : 1952 – 343 стр. Настоящая монография, посвященная физике высокого вакуума, в значительной мере связана с результатами работы автора в этой области, особенно по насосам и измерительным приборам. Книга Яккеля – ведущего сотрудника одной из главных немецких фирм, изготавливающих вакуумное оборудование, - описывает в значительной мере оригинальный о...

Сборник научных трудов. Новосибирск, 1985. – 187 стр.: ил. Представленные в сборнике работы посвящены экспериментальному, теоретическому и численному исследованию таких процессов на основе широкого использования современного опыта исследований струй низкой плотности. Материалы сборника охватывают следующий круг вопросов: современные тенденции в создании вакуумных насосов, кинетические и переносные свойства паров вакуумных масел, газодинамика теч...

Под ред. Нилендера Р. А. – М.: Госэнергоиздат, 1957. – 112 стр.: ил. В книги приводится описание принципов работы и конструктивного оформления вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных агрегатов отечественного производства с указанием ряда их эксплуатационных данных. Книга рассчитана на лиц, занимающихся выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может служить также учебным пособием для студентов...

Учебное пособие: КГТУ, 1997. – 52 стр. Рассмотрены проблемы выбора высоковакуумного оборудования, исходя из его основных технических и эксплуатационных характеристик, для различных вакуумно-технологических процессов. Предназначено для студентов специальности «Вакуумная техника физических установок», аспирантов, соискателей, инженеров и исследователей, использующих в своей работе вакуумное оборудование. Принципы выбора вакуумного оборудования. П...

/А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др. - М.: Машиностроение, 1991. - 176 с.: ил. Изложены основы получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных у...

Определение. Особенности устройства. Описание принципов работы резонаторных усилителей, которые делятся на резонаторные усилители проходного и циркуляторного типов, а также квантовых усилителей бегущей волны (УПБВ). Применение.

В книге описываются техника получения и измерения высокого и сверхвысокого вакуума, измерение парциальных давлений разреженных газов, методика течеискания, устройство вакуумных систем и расчет вакуумпроводов. Приводятся данные, характеризующие важнейшие вакуумтехнические материалы. Книга рассчитана на студентов вакуумных специальностей, а также работников предприятий, имеющих дело с вакуумной техникой. М. - Л. "Энергия" 296 стр. с ил. 1966г.

Определение. Принцип работы. А также не которые параметры и характеристики ЛБВ.

М.: Мир, 1975 г. 622 стр. Книга крупного специалиста в области вакуумной техники, академика Польской Академии наук и почеткого члена ряда зарубежных академий Я. Грошковского представляет собой монографию, в которой на современном уровне рассматриваются физика и техника высокого вакуума, методы его получения и измерения. Это - существенно переработанное и дополненное издание книги "Технология высокого вакуума" того же автора, которая вышла в русск...

М.: Машиностроение, 1976. – 64 стр. В книги в сжатой и доступной форме излагаются особенности и специфические требования, предъявляемые к наиболее распространенным конструкционным материалам, используемым в вакуумной технике. Рассматриваются конструкции основных элементов вакуумных систем, нашедшие широкое применение в промышленности. Приводятся принципиальные схемы и конструкции коммутирующих элементов. Книга рассчитана на широкий круг инженерн...

М.: Машиностроение, 1989. – 256 стр.: ил. Книга в популярной форме знакомит читателя с многообразием форм использования сжатого и разреженного воздуха в различных отраслях промышленности, на транспорте, в сельском хозяйстве, медицине, быту. Показана универсальность сжатого и разреженного воздуха наряду с электричеством, в качестве участника многих технологических процессов, включая процессы получения и переработки информации. Для широкого круга...

Под общ. ред. Нилендера Р. А. – М.: Энергия, 1978 г. , 208 стр., ил. В книге кратко рассмотрены основы положения вакуумной техники. Описываются принципы действия, правила и приемы эксплуатации механических, пароструйных и сорбционных насосов; описывается наиболее употребительные приборы для измерения давления разреженных газов и различные элементы вакуумных систем. Сообщаются необходимые сведения по технике течеискания, конструкции и монтажу вак...

М.: Трудрезервиздат, 1958 г. , 89 стр. Брошюра дает некоторые элементарные представления о вакууме и важнейших свойствах высокоразреженного газа, знакомит читателя с техникой получения и измерения вакуума, с устройством вакуумных систем и использованием вакуума в различных областях науки, техники и промышленного производства. Брошюра рассчитана на преподавателей и мастеров учебных заведений трудовых резервов. Может быть полезна также инженерно-т...

Ленинград, Издательство "Ленинградское отделение машиностроения", 1980 год - 160 стр. В книге рассмотрены теоретические и практические вопросы разработки и эксплуатации безмасляных вакуумных насосов, которые в силу своего принципа действия не загрязняют откачиваемые объекты парами масла и продуктами его разложения. Приведены их технико - экономические характеристики, показаны основные достоинства и недостатки. Особое внимание уделено криогенным...

Москва, Государственный комитет СССР по стандартам, 1988 год. Настоящий документ устанавливает стандарт терминов и определений понятий в области вакуумной техники.

Е. С. Фролов и др. Вакуумные системы и их элементы (Атлас-справочник). - М., "Машиностроение", 1968 г. - 200 стр. Под ред. В. Д. Лубенца. В данном справочнике - атласе приведены физико - механические характеристики материалов (металлов и неметаллов), применяемых для изготовления вакуумных систем а также кратко рассмотрены вопросы вакуумной сварки и пайки. Даны примеры конструкций и нормализованные ряды сильфонов, фланцевых соединений, вакуумных...

Казань, 1995 год - 285 стр. с иллюстрациями. В книге изложена теория и метод расчета жидкостнокольцевых вакуумных насосов и компрессоров, а также приведены теоретические и экспериментальные материалы, необходимые для их проектирования. Представлены данные по жидкостнокольцевым машинам, выпускаемым зарубежными фирмами и отечественными производителями. Исследованы закономерности движения рабочей жидкости в жидкостном кольце машины, влияние различ...

Москва, Издательство "Энергия", 1978 год - 208 стр. В данной книге кратко рассмотрены основные положения вакуумной техники. Описываются принципы действия, правила и приемы эксплуатации механических, пароструйных и сорбционных насосов; описываются наиболее употребительные приборы для измерения давления разреженных газов и различные элементы вакуумных систем. Сообщаются необходимые сведения по технике течеискания, конструкции и монтажу вакуумных...

Ленинград, Издательство "Машиностроение", 1975 год - 170 стр. с иллюстрациями. В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические вопросы вакуумной техники. Описаны элементы конструкций вакуумных систем, откачных машин и напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумн...

Учебное пособие по курсу "Динамические машины". МВТУ им. Н. Э. Баумана. Кафедра Э5. Здесь практически всё, что нужно знать по вихревым компрессорам студенту специальности "Вакуумная и компрессорная техника".

Конспект лекцій з курсу Електротехнологічні установки та пристрої. Вакуумна техніка для студентів денної форми навчання спеціальності Світлотехніка і джерела світла, спеціалізації 7.090606. Авт. Є. В. Шепілко. . Харків: ХНАМГ, 2005. - 122 с. Головні параметри та опис стану газів. Молекулярно-кінетична теорія газів. . Число молекул, що ударяються в стінку. Течія газу через отвір у тонкій стінці. Закон Грехема. . Явища переносу в газах. Течія газ...

"Энергия", 1979. 504 страницы. Предназначена главным образом для инженерно-технических работников заводов и конструкторских бюро, связанных с конструированием и расчётом вакуумных систем.

В брошюре изложены основные физико-механические свойства конструкционных металлов и сплавов, диэлектрические свойства материалов и герметиков, применяемых в вакуумном приборостроении. 1986 г. 60 стр.

Книга посвящена технике получения высокого вакуума. его измерению, методам нахождения мест натекания, устройству вакуумных систем и их расчету. Приводятся необходимые сведения по физике газов. Рассчитана на студентов техникумов, работников, имеющих дело с вакуумной техникой. 1957 г. 400 стр.

Приведены основные сведения о сверхвысоковакуумных уплотнениях разъемных соединений, применяемых в вакуумном, криогенном и химическом оборудовании. Описаны их конструкции, используемые материалы, особенности изготовления, испытания и эксплуатации. 1984 г. 71 стр.

Полупроводниковые приборы и электровакуумные приборы в устройствах автоматики, телемеханики и связи Учебник для техникумов ж. -д. трансп. - 5-е изд., перераб. и доп. М Транспорт, 1986-440 с., ил., табл.

В книге обобщен и систематизирован материал по всем типам отечественных вакуум-насосов, применяемых в химической промышленности. Основное внимание уделено описанию устройства, принципу действия, монтажу и эксплуатации вакуум-насосов. Приводятся методы защиты вакуум-насосов от действия агрессивных сред и некоторые примеры расчета вакуумных установок. Материал книги рассчитан на работников химической промышленности, занимающихся подбором и эксплуат...

Допущено Министерством высшего и среднего специального образования СССР в качестве учебного пособия для студентов высших технических учебных заведений. А. А. Глазков, Р. А. Милованова Учебная лаборатория вакуумной техники. Учебное пособие для вузов. М., Атомиздат, 1971. Книга представляет собой методическое пособие при практическом изучении современной вакуумной техники. В части I приведены теоретические сведения, необходимые для выполнения и ус...

Злобина А. Ф. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие. Томск: Томский межвузовский центр дистанционного образования, 2003. 106 с.

Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Закиров Ф. Г., Николаев Е. А. Откачник-вакуумщик. Учебник для технических училищ. М. - "Высшая школа", 1977. - 253 с.: илл. В книге объяснены основные понятия и законы вакуумной техники. Рассмотрены основные элементы вакуумных систем, включая средства откачки и контрольно-измерительные приборы. Дано описание различных видов вакуумно-термического оборудования, приемов его обслуживания, объяснена сущность технологических процессов откачки электрова...

М: Машиностроение, 1976. - 64 с. В книге в сжатой и доступной форме излагаются особенности и специфические требования, предъявляемые к наиболее распространенным конструкционным материалам, используемым в вакуумной технике. Рассматриваются конструкции основных элементов вакуумных систем (уплотнения, вводы движения, электрические вводы, смотровые окна), нашедшие широкое применение в промышленности. Приводятся принципиальные схемы и конструкции комм...

Оглавление Введение 1.1 История развития вакуумной техники Применение вакуума в науке и технике Задание на курсовую работу 3. Схема высоковакуумной установки 3.1. Откачиваемый объем 3.2. Адсорбционный насос ЦВН-01 3.3 Электроразрядный магнитный насос НОРД-250 3.4. Теплоэлектрический вакуумметр ВСБ-1 3.5. Электронный ионизационный вакуумметр ВИТ-2 3.6. Затворы и вентили 6.1 Затворы К 6.2– 6.6 Дроссельный вентиль Цельнометаллический игольчатый н...

В брошюре рассматривается состояние работ в области автоматизированного нанесения тонкослойных интерференционных покрытий в вакууме на установке с управлением от микрокомпьютера. Приводится алгоритм работы установки и прмеры реализации некоторых конструкций покрытий. Даётся математическая модель процесса нанесения слоя оксида титана, полученная на установке BAK-760 (фирма "Balzers") методом планирования эксперимента. Л.: ЛДНТП, 1983, 28 с.

2е изд., перераб. и доп. - М.: Радио и связь, 1985. - 864с. Приведены основные данные большинства современных электровакуумных электронных и газоразрядных приборов: приемных и передающих электронно-лучевых трубок, фотоэлектронных приборов, генераторных ламп.

Пер. с англ. М., Энергия, 1971 г. Книга представляет собой наиболее полное справочное пособие, охватывающее различные технические приемы, используемые для создания вакуумных уплотнений. В ней описываются основные вакуумные уплотнения (сварные, паяные, спаи стекло-стекло, стекло-металл, стекло-керамика, керамика-металл, замазки, пластмассы, уплотнения на основе хлорного серебра, жидкостные уплотнения, эластомеры и уплотнения с металлическими прокл...

Изучить основные методы исследования вторичной электронной эмиссии; изучить экспериментальную зависимость коэффициента вторичной электронной эмиссии от энергии первичных электронов и других факторов.

Экспериментальная проверка уравнения Шоттки. В процессе выполнения работы необходимо научиться определять плотность тока термоэмиссии при отсутствии электрического поля и оценивать температуру катода по наклону прямой Шоттки.

В пособии рассмотрены основные типы тонкослойных оптических покрытий, наносимых в вакууме. Приведены ряд особенносей испарения оксидов металлов при их электронно-лучевом испарении в вакууме. Методами пассивного и активного моделирования процессов нанесения, построены математические модели слоёв с различными выходными функциями. Приводится пример расчёта реального технологического процесса нанесения слоёв в вакууме.

Освоение экспериментальной методики исследования термоэлектронной эмиссии металлов, проверка правильности экспоненциального закона термоэмиссии, определение работы выхода и термоэлектронной постоянной методами прямой Ричардсона и постоянного тока.

Ознакомление с типами термоэлектронных катодов, применяемых в электронных приборах и изучение принципа действия.

Уэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума: Пер с англ. - М.: Мир, 1988. - 366с.: илл. ISBN 5-03-001228-1 Рассмотрены вопросы теории и практики сверхвысокого вакуума. Представлены сведения о материалах, используемых в условиях вакуума, средствах получения и сохранения высоких степеней разрежения и способах измерения давлений. Описаны методы контроля герметичности. рассмотрены некоторые модели современного оборудования.

Описаны методы расчета сложных вакуумных систем, а также рассмотрены примеры применения данных методов для решения прикладных задач. Для студентов специальности «Техника и физика низких температур» института теплоэнергетики и технической физики МЭИ.

М.: Издательство МЭИ, 2002. – 84 стр. Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и дана краткая история развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» и «Электронное машиностроение». История развития средств откачки в россии. Вакуумные технологии в металлургии. Вакуумные технологии в химии, нефтехимии и х...

Москва. "Высшая школа".1990 г.320 с. В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки. Принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин и установок. Основы конструирования вакуумных систем.

Fundamentals of Vacuum Technology. Revised and compliled by Dr.Walter Umrath. - Cologne, 1998. - 187 p. (на англ. яз. ) Качество: отличное (не скан). Подробное руководство по вакуумной технике и технологии, составленное коллективом авторов из компании Leybold Vacuum под руководством д-ра Вальтера Умрата. Предлагаемый вниманию читателя текст сочетает достаточную научную строгость подхода с понятным и наглядным стилем изложения. Текстовый материал...

1 и 2 глава. ТГУ, специальность 150202, 150206. Преподаватель Федоров А. Л. 1 глава - физика вакуума: основные понятия и определения, газовые законы; сорбционные явления в вакууме; физические процессы в вакууме, вязкость газов, диффузия в газах, режимы течения газов. 2 глава - способы получения и контроля вакуума. классификация насосов. механические методы откачки. физико-химические методы откачки. контроль давления. измерение газовых потоков. ме...

М.: Машиностроение. 1989. - 288с., ил. Изложены сведения по теории, методам расчета и проектирования насосов низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. Рассмотрены рабочие процессы и конструкции вакуумных насосов различного принципа действия, приведены результаты экспериментальных исследований, рекомендации по конструированию, объемные и энергетические характеристики. Для всех насосов даны примеры расчета.

«Теника», 1970, 180 стр. Приведены сведения о параметрах, типовых режимах и условиях эксплуатации наиболее распространенных ионных приборов отечественного производства. Кратко описаны принципы работы и конструкция каждого помещенного класса приборов. Предназначен для инженеров, техников и специалистов, занимающихся разработкой, эксплуатацией и ремонтом аппаратуры, работающее на ионных приборах, а также может быть полезен радиолюбителям, светотехн...

Излагаются физические основы, устройство, принцип действия, основные характеристики и параметры, а также основы конструирования электровакуумных приборов. Указаны области применения и функциональные возможности приборов, особое внимание уделено наиболее перспективным электровакуумным приборам. Для учащихся техникумов по курсу "Электровакуумные приборы и основы их конструирования". Может быть полезна для инженерно-технических работников, занимающи...

Изд-во "Машиностроение", 1985 г. Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации.