М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1981. - 104 с.: илл.
(Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение").
В обзоре рассматриваются современное состояние и тенденции развития высоковакуумных насосов двух перспективных классов - турбомолекулярных и электрофизических.
Приводятся конструктивно-физические характеристики насосов, их основные параметры н эксплуатационные особенности. Наибольшее внимание уделяется насосам, выпускаемым в промышленных масштабах.
Обзор предназначен для специалистов вакуумного аппарато- и машиностроения, научного вакуумного приборостроения и смежных отраслей.
УДК 621.527.8.
(Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение").
В обзоре рассматриваются современное состояние и тенденции развития высоковакуумных насосов двух перспективных классов - турбомолекулярных и электрофизических.
Приводятся конструктивно-физические характеристики насосов, их основные параметры н эксплуатационные особенности. Наибольшее внимание уделяется насосам, выпускаемым в промышленных масштабах.
Обзор предназначен для специалистов вакуумного аппарато- и машиностроения, научного вакуумного приборостроения и смежных отраслей.
УДК 621.527.8.