М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1988. - 55 с.: ил.
(Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение").
Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов.
Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулированы принципы их геометрической и технико-экономической оптимизации. Изложены основы проектировочного расчета насосов, требования к их функциональным элементам.
Описаны конструктивно-технологические характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов на основе термических и плазменных источников возобновляемых геттерных пленок, конструкций интегрированного вакуумного тракта установок на их основе. Рассмотрены особенности эксплуатации вакуумных систем с испарительными насосами.
Содержание.
Основные характеристики испарительных насосов.
Принципы расчета и оптимизации испарительных насосов.
Испарительные геттерные насосы и агрегаты.
Испарительные ионно-геттерные насосы и агрегаты.
Эксплуатация вакуумных систем с испарительными насосами.
УДК 621.528.5/6.
(Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение").
Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов.
Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулированы принципы их геометрической и технико-экономической оптимизации. Изложены основы проектировочного расчета насосов, требования к их функциональным элементам.
Описаны конструктивно-технологические характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов на основе термических и плазменных источников возобновляемых геттерных пленок, конструкций интегрированного вакуумного тракта установок на их основе. Рассмотрены особенности эксплуатации вакуумных систем с испарительными насосами.
Содержание.
Основные характеристики испарительных насосов.
Принципы расчета и оптимизации испарительных насосов.
Испарительные геттерные насосы и агрегаты.
Испарительные ионно-геттерные насосы и агрегаты.
Эксплуатация вакуумных систем с испарительными насосами.
УДК 621.528.5/6.