Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно

формат djvu
размер 1 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

М.: Машиностроение, 1989. - 56 с.
Рассмотрено применение электронных пучков в электронно- литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно -лучевые методы о6работки: очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных пучков.
Библ. : 7 назв. Ил.
25. Табл. 3.

Похожие разделы

Смотрите также

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат pdf
размер 3.18 МБ
добавлен 13 января 2011 г.

М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат djvu
размер 1005.12 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

Кеменов В.Н., Нестеров С.Б. Вакуумная техника и технология

формат pdf
размер 962.06 КБ
добавлен 06 апреля 2009 г.

М.: Издательство МЭИ, 2002. – 84 стр. Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и дана краткая история развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» и «Электронное машиностроение». История развития средств откачки в россии. Вакуумные технологии в металлургии. Вакуумные технологии в химии, нефтехимии и х...

Конев С.А. Вакуумная техника

формат doc
размер 642.79 КБ
добавлен 12 февраля 2011 г.

1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...

Кузьмин В.В. Расчет и проектирование вакуумных машин и установок

Практикум

формат pdf
размер 837.68 КБ
добавлен 22 марта 2011 г.

Учебное пособие (лабораторный практикум). СПб: Изд-во СПбГТУ, 2000. - 19 с.: ил. Предназначено для магистров по специальности "Вакуумные машины и установки". Соответствует государственному образовательному стандарту по специальности 551800 "Технологические машины и оборудование". Главное внимание уделено описанию экспериментальной аппаратуры и процессу выполнения лабораторных работ. Кроме того, излагаются положения, раскрывающие физико-техническу...

Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме

формат djvu
размер 3.07 МБ
добавлен 01 сентября 2009 г.

Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Реферат - Методы получения тонких пленок

Реферат

формат doc
размер 25.83 КБ
добавлен 25 апреля 2011 г.

Рассмотрены основные методы получения тонких пленок: физические методы осаждения: термическое испарение за счет резистивного нагрева; электронно-лучевое испарение; лазерное испарение; ионно-лучевое распыление; катодное распыление; магнетронное распыление и химические методы осаждения: осаждение из газовой фазы; метод распылительного пиролиза; жидкофазная эпитаксия; электролиз; золь – гель метод. 18с.

Розанов Л.Н. Вакуумная техника

формат djvu
размер 3.89 МБ
добавлен 25 марта 2009 г.

Москва. "Высшая школа".1990 г.320 с. В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки. Принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин и установок. Основы конструирования вакуумных систем.

Рот А. Вакуумные уплотнения

формат djvu
размер 18.85 МБ
добавлен 11 июня 2009 г.

Пер. с англ. М., Энергия, 1971 г. Книга представляет собой наиболее полное справочное пособие, охватывающее различные технические приемы, используемые для создания вакуумных уплотнений. В ней описываются основные вакуумные уплотнения (сварные, паяные, спаи стекло-стекло, стекло-металл, стекло-керамика, керамика-металл, замазки, пластмассы, уплотнения на основе хлорного серебра, жидкостные уплотнения, эластомеры и уплотнения с металлическими прокл...

Саксаганский Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы

формат djvu
размер 3.2 МБ
добавлен 24 октября 2010 г.

М.: Энергоатомиздат, 1988г. , 280с. Рассмотрены принципы работы испарительных геттерных, ионно-геттерных, магнитных электроразрядных, комбинированных насосов. Изложены принципы и критерии их оптимизации, типичные эксплуатационные режимы.

Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии