IOP, Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia,
1998, 189 c.
Книга представляет собой курс лекций по вакуумной технике (University of Strathclyde, UK). Содержит следующие разделы:
Газы
Газы в вакуумных системах
Насосы
Измерение давления
Вакуумные материалы и компоненты
Очистка
Течи и их поиск
Системы
Книга представляет собой курс лекций по вакуумной технике (University of Strathclyde, UK). Содержит следующие разделы:
Газы
Газы в вакуумных системах
Насосы
Измерение давления
Вакуумные материалы и компоненты
Очистка
Течи и их поиск
Системы