М.: Машиностроение, 1977. - 40 с.: ил.
Содержание
Измерение полных абсолютных давлений.
Измерения парциальных давлений.
Измерения производительности и быстроты откачки.
Количественная оценка герметичности вакуумных объектов.
Десорбционная масс-спектрометрия.
Проблемы обеспечения единства вакуумных измерений.
Государственный специальный эталон.
Общесоюзная проверочная схема.
Поверка и градуировка вакуумметров.
Задачи метрологии вакуумных измерений.
Содержание
Измерение полных абсолютных давлений.
Измерения парциальных давлений.
Измерения производительности и быстроты откачки.
Количественная оценка герметичности вакуумных объектов.
Десорбционная масс-спектрометрия.
Проблемы обеспечения единства вакуумных измерений.
Государственный специальный эталон.
Общесоюзная проверочная схема.
Поверка и градуировка вакуумметров.
Задачи метрологии вакуумных измерений.