М.: Машиностроение, 1978. - 76 с.: ил.
В брошюре кратко излагаются важнейшие понятия молекулярно-кинетической теории газов и вакуумной техники. Формулируются принципы, цели и особенности проектировочных расчетов вакуумных систем различных типов. Анализируются источники газовой нагрузки, методика выбора и и сравнительные характеристики откачных средств. Рассматриваются методы определения остаточного давления в вакуумных камерах, проводимости элементов вакуумных систем, пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных системах и системах с распределенными параметрами.
В брошюре кратко излагаются важнейшие понятия молекулярно-кинетической теории газов и вакуумной техники. Формулируются принципы, цели и особенности проектировочных расчетов вакуумных систем различных типов. Анализируются источники газовой нагрузки, методика выбора и и сравнительные характеристики откачных средств. Рассматриваются методы определения остаточного давления в вакуумных камерах, проводимости элементов вакуумных систем, пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных системах и системах с распределенными параметрами.