Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок

формат djvu
размер 898.2 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с.
Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.

Смотрите также

Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

формат djvu
размер 1.44 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М: Техносфера, 2007. - 176 с. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного м...

Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии

формат djvu
размер 1 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

М.: Машиностроение, 1989. - 56 с. Рассмотрено применение электронных пучков в электронно- литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно -л...

Волков А.Н. и др. Вакуумная техника. Нанесение покрытий

формат pdf
размер 1.84 МБ
добавлен 25 января 2011 г.

Волков А. Н., Дьяченко В. А., Клюкин В. Ю. Вакуумная техника. Методы, технологические процессы и оборудование для нанесения покрытий: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996. - 44 с. Для студентов конструкторских специальностей 5-го курса механико-машиностроительного факультета, изучающих курсы "Вакуумная техника", "Оборудование для производства электровакуумных приборов", "Оборудование для производства полупроводниковых приборов". Пособие может...

Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок

формат djvu
размер 4.63 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Энергия , 1967. - 312 стр. с илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении т...

Дипломный проект - Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

degree

формат rtf
размер 7.76 МБ
добавлен 26 марта 2011 г.

Херсонский национальный технический университет Специальность-090.212 Електронне машинобудування 69 стр. Титульный лист на украинском языке. Данный проект состоит из разделов: Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок. Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устр...

Капустин Е.Н. (ред.) Каталог вакуумного оборудования ОАО Вакууммаш

Справочник

формат djvu
размер 8.24 МБ
добавлен 30 сентября 2011 г.

Казань: Издательский центр Арт-кафе, 2007. с. 96. В каталоге содержатся сведения о вакуумном оборудовании, выпускаемом ОАО «ВАКУУММАШ». Каталог предназначен для инженерно-технических работников проектных организаций, проектирующих предприятий, на которых применяется вакуумное оборудование, предприятий, эксплуатирующих это оборудование, а также для работников плановых и сбытовых организаций.

Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия

формат pdf
размер 5.37 МБ
добавлен 23 января 2012 г.

М.: Машиностроение, 1987, 208 с.: ил. Изложены теоретические основы способов получения покрытий из сплавов в вакууме, приведены основы технологии нанесения различных покрытий из сплавов на металлы и неметаллы. Обобщены данные исследований влияния условий осаждения покрытий на их пористость и защитные свойства, а также электрохимического поведения покрытий в агрессивных средах. Рассмотрены методы получения вакуумных многокомпонентных пленок и покр...

Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме

формат djvu
размер 3.07 МБ
добавлен 01 сентября 2009 г.

Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Саксаганский Г.Л. Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы

формат djvu
размер 975.92 КБ
добавлен 14 января 2011 г.

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1988. - 55 с.: ил. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулиро...

Шумский К.П. Вакумные аппараты и приборы химического машиностроения

формат djvu
размер 12.47 МБ
добавлен 11 апреля 2011 г.

Книга предназначена для инженерно-технических работников конструкторских бюро и предприятий проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она может быть полезна научным работникам специализирующимся в области вакуумного аппаратостроения М.: Машиностроение, 1974г-571с. Ил.533, табл .109., список лит.70 назв.