Дипломный проект - Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

degree

формат rtf
размер 7.76 МБ
добавлен 26 марта 2011 г.

Дипломный проект - Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Херсонский национальный технический университет
Специальность-090.212 Електронне машинобудування
69 стр. Титульный лист на украинском языке.
Данный проект состоит из разделов:
Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок.
Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок.
Усовершенствование установки вакуумного напыления.
Рассматривается конструкция и принцип работы лабораторной установки вакуумного напыления, усовершенствования и разработка 3-х канального блока управления током нагрева испарителей и подогревателя подложки, расчёт силового трансформатора, а также изменения принципа поворота заслонки с помощью поворотного устройства через вакуумное уплотнение.
Экономическая часть
Содержит экономическое обоснование разработки установки вакуумного напыления.
Охрана труда и техника безопасности.
Проводится анализ условий труда и расчет защитного заземления для данной установки.

Смотрите также

Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

формат djvu
размер 1.44 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М: Техносфера, 2007. - 176 с. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного м...

Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок

формат djvu
размер 4.63 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Энергия , 1967. - 312 стр. с илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении т...

Котельников Ю.Н. Автоматизация вакуумно-технолоrических процессов

формат djvu
размер 448.92 КБ
добавлен 23 октября 2010 г.

Котельников Ю. Н. Автоматизация вакуумно-технологических процессов. М., «Машиностроение», 1977, 40 с. Брошюра знакомит инженерно-технических работников с современными методами и средствами автоматизации вакуумного оборудования и процессов. Описаны основные пути автоматизации элементов вакуумного оборудования и средства управления процессами. Особое внимание уделено автоматизированным системам управления технологическими процессами (АСУТП) на осн...

Кузнецов В.И., Немилов Н.Ф., Шемякин В.Е. Эксплуатация вакуумного оборудования

формат pdf
размер 16.82 МБ
добавлен 22 января 2010 г.

Под общ. ред. Нилендера Р. А. – М.: Энергия, 1978 г. , 208 стр., ил. В книге кратко рассмотрены основы положения вакуумной техники. Описываются принципы действия, правила и приемы эксплуатации механических, пароструйных и сорбционных насосов; описывается наиболее употребительные приборы для измерения давления разреженных газов и различные элементы вакуумных систем. Сообщаются необходимые сведения по технике течеискания, конструкции и монтажу вак...

Кузнецов В.И., Немилов Н.Ф., Шемякин В.Е. Эксплуатация вакуумного оборудования

формат djvu
размер 5.94 МБ
добавлен 15 января 2010 г.

Москва, Издательство "Энергия", 1978 год - 208 стр. В данной книге кратко рассмотрены основные положения вакуумной техники. Описываются принципы действия, правила и приемы эксплуатации механических, пароструйных и сорбционных насосов; описываются наиболее употребительные приборы для измерения давления разреженных газов и различные элементы вакуумных систем. Сообщаются необходимые сведения по технике течеискания, конструкции и монтажу вакуумных...

Ланис В.А., Левина Л.Е. Практические основы техники вакуумных испытаний

формат djvu, txt, jpg
размер 1.76 МБ
добавлен 27 апреля 2010 г.

Руководство по испытанию вакуумной техники на герметичность. Описаны основные методы обнаружения течей. Материал рассчитанный на круг лиц занимающихся эксплуатацией вакуумного оборудования.

Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки

формат djvu
размер 4.53 МБ
добавлен 15 января 2010 г.

Ленинград, Издательство "Машиностроение", 1975 год - 170 стр. с иллюстрациями. В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические вопросы вакуумной техники. Описаны элементы конструкций вакуумных систем, откачных машин и напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумн...

Саксаганский Г.Л. Современные турбомолекулярные и электрофизические насосы

формат djvu
размер 1.67 МБ
добавлен 14 января 2011 г.

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1981. - 104 с.: илл. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). В обзоре рассматриваются современное состояние и тенденции развития высоковакуумных насосов двух перспективных классов - турбомолекулярных и электрофизических. Приводятся конструктивно-физические характеристики насосов, их основные параметры н эксплуатационные особенности. Наибольшее внимание уделяется насосам, выпускаемым в промы...

Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме

Словарь

формат djvu
размер 12.37 МБ
добавлен 13 февраля 2010 г.

/А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др. - М.: Машиностроение, 1991. - 176 с.: ил. Изложены основы получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных у...

Шумский К.П. Вакумные аппараты и приборы химического машиностроения

формат djvu
размер 12.47 МБ
добавлен 11 апреля 2011 г.

Книга предназначена для инженерно-технических работников конструкторских бюро и предприятий проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она может быть полезна научным работникам специализирующимся в области вакуумного аппаратостроения М.: Машиностроение, 1974г-571с. Ил.533, табл .109., список лит.70 назв.