Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

формат djvu
размер 1.44 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М: Техносфера, 2007. - 176 с.
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазменного травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.

Смотрите также

Введенский В.Д., Рязанкин В.П. Вакуумная технология оптического приборостроения

формат pdf
размер 3.19 МБ
добавлен 31 мая 2009 г.

В пособии рассмотрены основные типы тонкослойных оптических покрытий, наносимых в вакууме. Приведены ряд особенносей испарения оксидов металлов при их электронно-лучевом испарении в вакууме. Методами пассивного и активного моделирования процессов нанесения, построены математические модели слоёв с различными выходными функциями. Приводится пример расчёта реального технологического процесса нанесения слоёв в вакууме.

Волков А.Н. и др. Вакуумная техника. Нанесение покрытий

формат pdf
размер 1.84 МБ
добавлен 25 января 2011 г.

Волков А. Н., Дьяченко В. А., Клюкин В. Ю. Вакуумная техника. Методы, технологические процессы и оборудование для нанесения покрытий: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996. - 44 с. Для студентов конструкторских специальностей 5-го курса механико-машиностроительного факультета, изучающих курсы "Вакуумная техника", "Оборудование для производства электровакуумных приборов", "Оборудование для производства полупроводниковых приборов". Пособие может...

Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок

формат djvu
размер 4.63 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Энергия , 1967. - 312 стр. с илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении т...

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат pdf
размер 3.18 МБ
добавлен 13 января 2011 г.

М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат djvu
размер 1005.12 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

Дипломный проект - Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

degree

формат rtf
размер 7.76 МБ
добавлен 26 марта 2011 г.

Херсонский национальный технический университет Специальность-090.212 Електронне машинобудування 69 стр. Титульный лист на украинском языке. Данный проект состоит из разделов: Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок. Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устр...

Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок

формат djvu
размер 898.2 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...

Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме

формат djvu
размер 3.07 МБ
добавлен 01 сентября 2009 г.

Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Реферат - Методы получения тонких пленок

Реферат

формат doc
размер 25.83 КБ
добавлен 25 апреля 2011 г.

Рассмотрены основные методы получения тонких пленок: физические методы осаждения: термическое испарение за счет резистивного нагрева; электронно-лучевое испарение; лазерное испарение; ионно-лучевое распыление; катодное распыление; магнетронное распыление и химические методы осаждения: осаждение из газовой фазы; метод распылительного пиролиза; жидкофазная эпитаксия; электролиз; золь – гель метод. 18с.

Третья Российская студенческая научно-техническая конференция Вакуумная техника и технология. Материалы конференции

Статья

формат djvu
размер 2.7 МБ
добавлен 23 января 2012 г.

Казань, 10-12 апреля 2007 г., 154с. Пленарные доклады. С.Б. Нестеров, профессор МЭИ, зам.директора НИИВТ им. С.А. Векшинского. Тенденции развития вакуумной техники, криогенной техники и нанотехнологии. Е.Н. Капустин, генеральный директор, А.С. Данилин, начальник НТЦ ОАО «Вакууммаш». Новое оборудование и перспективные разработки ОАО «Вакууммаш». К.Е. Демихов, профессор, Н.К. Никулин, доцент МГТУ им. Н.Э. Баумана. О создании и перспективах развития...