В пособии рассмотрены основные типы тонкослойных оптических
покрытий, наносимых в вакууме. Приведены ряд особенносей испарения
оксидов металлов при их электронно-лучевом испарении в вакууме.
Методами пассивного и активного моделирования процессов нанесения,
построены математические модели слоёв с различными выходными
функциями. Приводится пример расчёта реального технологического
процесса нанесения слоёв в вакууме.