Учебное пособие: КГТУ, 1997. – 52 стр.
Рассмотрены проблемы выбора высоковакуумного оборудования, исходя из его основных технических и эксплуатационных характеристик, для различных вакуумно-технологических процессов.
Предназначено для студентов специальности «Вакуумная техника физических установок», аспирантов, соискателей, инженеров и исследователей, использующих в своей работе вакуумное оборудование.
Принципы выбора вакуумного оборудования.
Применение высоковакуумных насосов в научно-исследовательской деятельности и инженерно-технологических решениях.
Эксплуатация вакуумной системы.
Проблемы оценки технического уровня высоковакуумных насосов.
Решение проблемы «чистого вакуума».
Рассмотрены проблемы выбора высоковакуумного оборудования, исходя из его основных технических и эксплуатационных характеристик, для различных вакуумно-технологических процессов.
Предназначено для студентов специальности «Вакуумная техника физических установок», аспирантов, соискателей, инженеров и исследователей, использующих в своей работе вакуумное оборудование.
Принципы выбора вакуумного оборудования.
Применение высоковакуумных насосов в научно-исследовательской деятельности и инженерно-технологических решениях.
Эксплуатация вакуумной системы.
Проблемы оценки технического уровня высоковакуумных насосов.
Решение проблемы «чистого вакуума».