Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки

формат djvu
размер 4.53 МБ
добавлен 15 января 2010 г.

Ленинград, Издательство "Машиностроение", 1975 год - 170 стр. с иллюстрациями.

В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические вопросы вакуумной техники. Описаны элементы конструкций вакуумных систем, откачных машин и напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин.
Книга предназначена для инженерно - технических работников, проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентов ВУЗов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому машиностроению.

Смотрите также

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат pdf
размер 3.18 МБ
добавлен 13 января 2011 г.

М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...

Е.С. Фролов и др. Вакуумные системы и их элементы. Справочник-атлас

формат djvu
размер 9.72 МБ
добавлен 15 января 2010 г.

Е. С. Фролов и др. Вакуумные системы и их элементы (Атлас-справочник). - М., "Машиностроение", 1968 г. - 200 стр. Под ред. В. Д. Лубенца. В данном справочнике - атласе приведены физико - механические характеристики материалов (металлов и неметаллов), применяемых для изготовления вакуумных систем а также кратко рассмотрены вопросы вакуумной сварки и пайки. Даны примеры конструкций и нормализованные ряды сильфонов, фланцевых соединений, вакуумных...

Кеменов В.Н., Нестеров С.Б. Вакуумная техника и технология

формат pdf
размер 962.06 КБ
добавлен 06 апреля 2009 г.

М.: Издательство МЭИ, 2002. – 84 стр. Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и дана краткая история развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» и «Электронное машиностроение». История развития средств откачки в россии. Вакуумные технологии в металлургии. Вакуумные технологии в химии, нефтехимии и х...

Конев С.А. Вакуумная техника

формат doc
размер 642.79 КБ
добавлен 12 февраля 2011 г.

1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...

Кузьмин В.В. Расчет и проектирование вакуумных машин и установок

Практикум

формат pdf
размер 837.68 КБ
добавлен 22 марта 2011 г.

Учебное пособие (лабораторный практикум). СПб: Изд-во СПбГТУ, 2000. - 19 с.: ил. Предназначено для магистров по специальности "Вакуумные машины и установки". Соответствует государственному образовательному стандарту по специальности 551800 "Технологические машины и оборудование". Главное внимание уделено описанию экспериментальной аппаратуры и процессу выполнения лабораторных работ. Кроме того, излагаются положения, раскрывающие физико-техническу...

Курсовая работа - Особенности образования структур при вакуумном напылении

Курсовая работа

формат pdf
размер 1.43 МБ
добавлен 26 марта 2011 г.

Московский государственный институт радиоэлектроники, электроники и автоматики Дисциплина - Вакуумные плазменные технологические устройства М. : 2002г. , 30 стр.

Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок

формат djvu
размер 898.2 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...

Розанов Л.Н. Вакуумная техника

формат djvu
размер 3.89 МБ
добавлен 25 марта 2009 г.

Москва. "Высшая школа".1990 г.320 с. В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки. Принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин и установок. Основы конструирования вакуумных систем.

Розанов Л.Н. Вакуумная техника

формат pdf
размер 12.05 МБ
добавлен 14 мая 2010 г.

Розанов Л. Н. Вакуумная техника: Учеб. для вузов по спец. «Вакуумная техника». — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высш. шк. 1990. — 320 с.: ил. ISBN 5-06-000479-1 В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки, принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин н установок, основы конструирования ваку...

Рот А. Вакуумные уплотнения

формат djvu
размер 18.85 МБ
добавлен 11 июня 2009 г.

Пер. с англ. М., Энергия, 1971 г. Книга представляет собой наиболее полное справочное пособие, охватывающее различные технические приемы, используемые для создания вакуумных уплотнений. В ней описываются основные вакуумные уплотнения (сварные, паяные, спаи стекло-стекло, стекло-металл, стекло-керамика, керамика-металл, замазки, пластмассы, уплотнения на основе хлорного серебра, жидкостные уплотнения, эластомеры и уплотнения с металлическими прокл...