/А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др. - М.:
Машиностроение, 1991. - 176 с.: ил.
Изложены основы получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных устройств.
Рассмотрено получение покрытий ионным и термическим напылением металлов и сплавов, карбидов, нитридов и их аналогов.
Изложены основы получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных устройств.
Рассмотрено получение покрытий ионным и термическим напылением металлов и сплавов, карбидов, нитридов и их аналогов.