В брошюре рассматривается состояние работ в области
автоматизированного нанесения тонкослойных интерференционных
покрытий в вакууме на установке с управлением от микрокомпьютера.
Приводится алгоритм работы установки и прмеры реализации некоторых
конструкций покрытий. Даётся математическая модель процесса
нанесения слоя оксида титана, полученная на установке BAK-760
(фирма "Balzers") методом планирования эксперимента.
Л.: ЛДНТП, 1983, 28 с.
Л.: ЛДНТП, 1983, 28 с.