Процесс конденсации паров испаряемого материала на поверхности
детали и последующее структурообразование формирующегося слоя
происходят в условиях постоянного внедрения молекул газа, имеющихся
в объеме камеры. Влияние подобных примесей на свойства слоев
несомненно, хотя и неоднозначно, как неоднозначен и механизм
появления во время процесса испарения такого активного
восстановителя, как Н2, имеющего в отличие от СО2 стационарное
значение давления.
ОМП, 1986, №9, с.25-30
ОМП, 1986, №9, с.25-30