Оглавление
Введение
1.1 История развития вакуумной техники
Применение вакуума в науке и технике
Задание на курсовую работу
3. Схема высоковакуумной установки
3.1. Откачиваемый объем
3.2. Адсорбционный насос ЦВН-01
3.3 Электроразрядный магнитный насос НОРД-250
3.4. Теплоэлектрический вакуумметр ВСБ-1
3.5. Электронный ионизационный вакуумметр ВИТ-2
3.6. Затворы и вентили
6.1 Затворы К
6.2– 6.6 Дроссельный вентиль
Цельнометаллический игольчатый натекатель
Трубопровод
Термодесорбционный масс-спектрометр
Галоидный метод течеискания
Порядок включения сверхвысоко вакуумной установки
5. Порядок выключения сверхвысоко вакуумной установки
6. Заключение
7. Список использованной литературы
Введение
1.1 История развития вакуумной техники
Применение вакуума в науке и технике
Задание на курсовую работу
3. Схема высоковакуумной установки
3.1. Откачиваемый объем
3.2. Адсорбционный насос ЦВН-01
3.3 Электроразрядный магнитный насос НОРД-250
3.4. Теплоэлектрический вакуумметр ВСБ-1
3.5. Электронный ионизационный вакуумметр ВИТ-2
3.6. Затворы и вентили
6.1 Затворы К
6.2– 6.6 Дроссельный вентиль
Цельнометаллический игольчатый натекатель
Трубопровод
Термодесорбционный масс-спектрометр
Галоидный метод течеискания
Порядок включения сверхвысоко вакуумной установки
5. Порядок выключения сверхвысоко вакуумной установки
6. Заключение
7. Список использованной литературы