Обзорная информация
М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1979, 38с.
В обзоре систематизированы сведения по комбинированным электрораразрядным rеттерно-
ионным насосам и новейшим техническим peшениям, касаюшимся маrниторазрядных и reттерных испарительных насосов, их достоинства и недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические характеристики. В обзоре использованы опубпикованные отечественные и зарубежные издания и патентные материалы
Обзор предиазначен для специалистов, занимающихся вопросами cоздания безмаслянноrо cвepxвыcoкoro вакуума.
М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1979, 38с.
В обзоре систематизированы сведения по комбинированным электрораразрядным rеттерно-
ионным насосам и новейшим техническим peшениям, касаюшимся маrниторазрядных и reттерных испарительных насосов, их достоинства и недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические характеристики. В обзоре использованы опубпикованные отечественные и зарубежные издания и патентные материалы
Обзор предиазначен для специалистов, занимающихся вопросами cоздания безмаслянноrо cвepxвыcoкoro вакуума.