Уэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума: Пер с англ. - М.: Мир,
1988. - 366с.: илл.
ISBN 5-03-001228-1
Рассмотрены вопросы теории и практики сверхвысокого вакуума. Представлены сведения о материалах, используемых в условиях вакуума, средствах получения и сохранения высоких степеней разрежения и способах измерения давлений. Описаны методы контроля герметичности. рассмотрены некоторые модели современного оборудования.
ISBN 5-03-001228-1
Рассмотрены вопросы теории и практики сверхвысокого вакуума. Представлены сведения о материалах, используемых в условиях вакуума, средствах получения и сохранения высоких степеней разрежения и способах измерения давлений. Описаны методы контроля герметичности. рассмотрены некоторые модели современного оборудования.