Заблоцкий А.В., Тимофеев А.А., Коростылёв Е.В., Кузьмин А.А. Электронная микроскопия в нанодиагностике

Подождите немного. Документ загружается.

141

зволяет определить состав этих слоев по положению максимума излуче-

ния. Для данной структуры при энергиях более 20 кэВ проявляется излу-

чение слоя ZnSSe, по положения максимума излучения которого можно с

хорошей точностью оценить его состав, что фактически невозможно дру-

гими неразрушающими методами.

Кроме того, метод КЛ позволяет оценить транспортные свойства носи-

телей заряда в структурах. Например, при исследовании структур на осно-

ве соединения A

c квантовыми точками и сверхрешеткой для улучше-

ния транспортных свойств.

Рисунок 6.34 – Спектр КЛ структуры, полученные при различных энергиях

электронного пучка.

6.6. Катодолюминесценция

142

6.7. Контрольные вопросы к главе 6

1. Каковы причины расхождения между истинными размерами изучае-

мого объекта и размерами, получаемыми с помощью РЭМ?

2. Какие тест-объекты подходят для калибровки РЭМ?

3. Как можно установить критерии определения границ объекта при

исследовании методом растровой электронной микроскопии?

4. Какова информативность картин дифракции обратнорассеянных

электронов?

5. Какова информативность энергетического спектра оже-электронов?

6. Какова информативность характеристического рентгеновского излу-

чения?

7. Сравните преимущества и недостатки волнового и энерго дис пер-

сионного детекторов рентгеновского излучения.

8. Какова информативность спектров катодолюминисценции?

6.7. Контрольные вопросы к главе 6

143

Литература

1. Синдо Д., Оикава Т. - Аналитическая просвечивающая электронная

микроскопия – М: Техносфера, 2006

2. Голдстей Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лившин Э.

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ.

– М.: Мир, 1984.

3. Рид С. Электронно-зондовый микроанализ. – М.: Мир, 1979.

4. Weilie Zhou and Zhong Lin Wang. Scanning Microscopy for

Nanotechnology: Techniques and Applications. – NY: Springer, 2006.

Электронная микроскопия в нанодиагностике

Подписано в печать 12.07.2011.

Формат 60x90 1/16

Гарнитура Times.

Бумага офсетная. Тираж 500 экз.

Заказ № 6053.

Отпечатано

в ОАО «Можайский полиграфический комбинат»,

143200, г. Можайск, Московская обл., ул. Мира, д.93,

Тел.: (49638) 2-06-85, (495) 745-84-28