Марголин В.И. Основы нанотехнологии

Подождите немного. Документ загружается.

ство, заполненное раствором электролита (проводником второго рода) при помощи

металлических проводников, соединяющих положительный и отрицательный по-

люсы внешнего источника с электродами (анодом и катодом соответственно). В

процессе электролиза электрическая энергия расходуется на нагрев системы, пере-

нос вещества электрическим полем и на повышение химической энергии веществ,

образующихся вследствие пространственно разделенных катодных

восстанови-

тельных и анодных окислительных реакций. Особое значение имеет строение

двойного электрического слоя на границах электрод-электролит, для которого ха-

рактерным является изменение распределения потенциала в плотной части, приле-

гающей к поверхности электрода, и диффузной в зависимости от вида адсорбции,

температуры и состава электролита. Направление развития электродного процесса

в каждом

конкретном случае определяется многими факторами: химическим соста-

вом и структурой материала электрода, величиной нормального электродного по-

тенциала в данном электролите, величиной потенциала электрохимической поля-

ризации (отклонение потенциала от равновесного при протекании внешнего тока),

направлением тока через границу электрод-электролит, температурой и др. При

этом на катоде легче восстанавливаются молекулы, атомы и

ионы с наиболее высо-

ким в данных условиях потенциалом.

При практическом осуществлении электрохимических методов контролируют-

ся такие параметры процесса, как плотность тока (обычно измеряют полный ток

через электролитическую ячейку), напряжение на клеммах электродов, потенциал

рабочего электрода относительно стандартного электрода сравнения, кислотность

электролита (рН раствора), температура электролита, длительность процесса. Ре-

цептуры

составов электролитов для различных групп процессов чрезвычайно раз-

нообразны. В качестве основных растворителей применяются как вода, так и не-

водные растворители с высокой диэлектрической проницаемостью. Конкретные

требования к свойствам растворителей (вязкость, температура испарения, химиче-

ская активность по отношению к другим компонентам и др.) зависят от вида про-

цесса (удаление, нанесение и

т. п.). Назначение основных компонентов состоит в

поставке молекул, атомов и ионов для протекания требуемой электрохимической

реакции. Вспомогательные компоненты обеспечивают электропроводность элек-

тролита (при слабой диссоциации основных компонентов), способствуют повыше-

нию скорости основных и уменьшению скорости побочных реакций, изменяют хи-

мический состав и структуру удаляемой и наносимой фаз и т.

п.

Зависимость скорости электрохимических реакций как от потенциала электро-

да, так и от большого количества вышеперечисленных параметров делает этот мно-

гофакторный метод исключительно привлекательным для нанотехнологии в плане

получения как наноразмерных пленок переменного состава, так и различных нано-

объектов, делает электрохимические методы весьма мобильными, гибкими и тех-

нологичными, так как, изменяя

потенциал и другие параметры, можно управлять

ходом технологического процесса. На условия протекания электрохимического

процесса в основном влияют геометрические факторы (форма и размер электродов,

их расположение друг относительно друга и стенок электролизера) и электрохими-

ческие факторы (изменение катодного потенциала при различной плотности тока,

электропроводимость, зависимость выхода по току от плотности тока, состав,

плотность, вязкость и температура электролита

и т.п.). Надо учитывать также при-

роду покрываемого металла, состояние поверхности, неоднородность материала по

составу и структуре, особенно в нанотехнологии, характер предварительно прово-

дившихся с ним операций и пр.

В результате электрохимических реакций на границе электрод-раствор может

происходить: 1) - удаление исходного вещества в раствор (анодное растворение); 2)

- нанесение нового вещества

: а) без химического взаимодействия с веществом

электрода (катодное осаждение); б) с участием исходного вещества (анодное окис-

ление); 3) - внедрение частиц вещества из электролита в материал электрода (элек-

трохимическое легирование); 4) - выделение газовой фазы без изменения вещества

электродов.

Большое достоинство электрохимических методов - их универсальность, по-

зволяющая осуществлять интеграцию процессов нанесения и удаления. Электро-

химические процессы могут протекать с изменением геометрических размеров

электродов - послойно, локально и селективно, а процессы внедрения и выделения

газовой фазы - без изменения исходной геометрии. Со структурных позиций элек-

трод и нарастающая новая фаза могут быть моно-, поликристаллическими и

аморфными. В случае моно- и поликристаллических электродов возможны локаль-

но-анизотропные и локально

-селективные процессы их электрохимического трав-

ления (удаления). С химической позиции электрод и нарастающая фаза бывают ме-

таллами, диэлектриками и полупроводниками. Внешнее электрическое поле, при-

кладываемое к электродам, может быть стационарным (не изменяющимся) и не-

стационарным (изменяющимся сложным образом) во времени.

В электрохимических (электродных) процессах различают обратимые, квазиоб-

ратимые и необратимые

процессы. Обратимыми называют процессы, в которых

скорость электродного процесса очень быстрая. При более медленной электродной

реакции процесс называется квазиобратимым. При еще более медленной электрод-

ной реакции, когда ее можно рассматривать как практически одностороннюю, мы

имеем дело с необратимым электродным процессом. При квазиобратимом и необ-

ратимом электродных процессах доставка вещества к электроду

(или от него), как

правило, также тормозит электродный процесс, что приводит к изменению концен-

трации реагентов в растворе вблизи поверхности электрода.

В микротехнологии электрохимические процессы нашли применение при очи-

стке поверхности подложек. В производстве СБИС пластины и подложки соприка-

саются с различными средами, и полностью защитить их от адсорбции различного

рода примесей невозможно, так же как и на долгое время получить идеально чис-

тую поверхность без посторонних примесей. В соответствии с электрохимической

теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем,

что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные

и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи. На

анод-

ных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида

и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодах происходит

восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды

и микрокатоды непрерывно меняются местами. Результирующее уравнение реак-

ции при этом имеет вид:

OH8NO4SiFH3HF18HNO4Si3

2623

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности

поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как

различные кристаллографические поверхности структуры кремния имеют различно

значение энергии активации химической реакции, то скорость травления зависит от

ориентации пластин, а также от температуры. Электрохимическое травление осно-

вано на химических превращениях, которые происходят при

электролизе. Для это-

го полупроводниковую пластину (анод) и металлический электрод (катод) поме-

щают в электролит, через который пропускают электрический ток. Процесс являет-

ся окислительно-восстановительной реакцией, состоящей из анодного окисления

(растворения) и катодного восстановления. Кинетика анодного растворения опре-

деляется концентрацией дырок, генерируемых на поверхности полупроводниковой

пластины. При этом одновременно может

происходить электрохимическая поли-

ровка пластины.

В технологии микро- и наноэлектроники для получения пленочных покрытий

вместе с вакуумными методами применяют электрохимическое осаждение и анод-

ное окисление. В основу метода положены реакции протекающие в водных раство-

рах солей металлов в условиях приложенного электрического поля. В результате

взаимодействия продуктов реакции с подложкой образуется пленка

. При электро-

осаждении меди из раствора медного купороса в качестве анода используется мед-

ная пластина. С приложением к электродам разности потенциалов происходит раз-

ложение электролита на ионы. Под действием электрического тока, протекающего

через раствор, находящиеся в растворе ионы металла, двигаясь к аноду, захваты-

вают на нем электроны и, осаждаясь, превращаются

в нейтральные атомы. Под

действием тока ионы меди, достигая катода, отбирают два электрона, образуя ней-

тральные атомы, а на аноде атом меди отдает два электрона и переходит в раствор

в виде положительного иона. Процесс описывается следующими уравнениями:

на катоде

−−

+↓=++

SOCue2SOCu

на аноде

e2SOCuSOCu

++=+

−

Осаждение атомов металла начинается на дефектах структуры подложки, после

этого они перемещаются вдоль поверхности к изломам, образуя пленку. Таким об-

разом, пленка развивается островками, которые разрастаются во всех направлени-

ях, пока не сольются. Если вблизи зародыша концентрация электролита понижена

(что имеет место в большинстве случаев), то условия благоприятны для

роста

пленки по нормали к поверхности.

Композиционные электрохимические покрытия (КЭП) представляют собой

осадки металла, содержащие включения большого числа наноразмерных инертных

частиц второй фазы. В зависимости от назначения КЭП в качестве второй фазы ис-

пользуют различные вещества и соединения. Комбинированные покрытия позво-

ляют улучшать поверхностные свойства изделий путем совмещения свойств элек-

трохимических

покрытий со свойствами других материалов. Порошки второй фазы

чаще всего размером 0,1—1 мкм и менее вводятся в электролит для электроосаж-

дения металла и поддерживаются там во взвешенном состоянии.

Механизм электроосаждения металла в присутствии второй фазы заключается в

том, что при перемешивании электролита и за счет электрофоретических явлений

частицы второй фазы попадают

на катод, налипают на него или задерживаются за

счет электростатического притяжения. Частицы зарастают осаждающимся метал-

лом и закрепляются в покрытии. Получаемые КЭП содержат до 10% второй фазы.

Для придания изделиям защитных и специальных свойств часто используют мно-

гослойные покрытия из различных металлов либо из слоев одного металла, но с

различными физико-механическими

и антикоррозионными свойствами.

Электрохимическая технология позволяет выращивать и нанокристаллические

пленки. Сложность процесса электрокристаллизации связана как с неоднородно-

стью кристаллической поверхности, так и с образованием новой фазы. При образо-

вании твердой фазы возникает кристаллизационное перенапряжение, причиной ко-

торого является замедленность вхождения атомов в упорядоченную структуру кри-

сталлической решетки твердого металлического тела.

Перенапряжение кристалли-

зации проявляется в чистом виде только тогда, когда все другие стадии, кроме кри-

сталлизации, а именно, стадия перехода, диффузия и химические реакции в элек-

тролите при протекании тока, находятся в условиях, очень близких к термодина-

мическому равновесию. В случае, если электроосаждение происходит на идеально

гладкой поверхности, кристаллизационное перенапряжение связано

с образовани-

ем зародышей. Кристаллические зародыши металла состоят из небольшого числа

атомов, расположенных в одной плоскости (двухмерные зародыши), либо наслоен-

ных друг на друга (трехмерные зародыши). Количественная теория образования и

тех и других зародышей в процессе электрокристаллизации металлов основана на

представлениях о механизме возникновения новой фазы из паровой фазы или

пере-

сыщенного раствора. С увеличением перенапряжения уменьшается размер заро-

дышей и увеличивается скорость их образования, что приводит к получению мел-

кокристаллической структуры осадков.

Если рост граней кристалла при электроосаждении происходит за счет образо-

вания двухмерных зародышей на металле, ионы которого разряжаются, то необхо-

димо определенное минимальное скопление частиц на поверхности осаждения. Для

описания свойств такой системы вводится понятие о

краевом натяжении ρ, которое

является аналогом поверхностной работы, критический радиус зародыша связан с

величиной пересыщения формулой Томпсона, которая имеет вид:

⎟

⎠

⎞

⎜

⎝

⎛

∗

lnRT

где C* и C

концентрации пересыщенного и насыщенного электролита, ρ его

плотность, S

- площадь, занимаемая молем вещества, распределенного в виде мо-

нослоя. При изучении роста монокристаллов было обнаружено, что процесс элек-

трокристаллизации может протекать без образования новых зародышей, если на

поверхности растущего кристалла имеются дефекты кристаллической решетки и

идеальная упаковка нарушена вакансиями и адсорбированными атомами. Края не-

укомплектованных плоскостей образуют ступени (изломы). Присоединение

новой

частицы к ступени не ведет к ее исчезновению, поэтому изломы иногда называют

активными местами роста, так как здесь происходит присоединение большинства

частиц, встраивающихся в кристаллическую решетку.

Значения кристаллизационного перенапряжения невелики и зависят от природы

металла и состояния поверхности. Для многих металлов (Zn, Pb, Ag и др.), имею-

щих сравнительно высокие токи обмена, кристаллизационное

перенапряжение со-

ставляет всего лишь несколько милливольт. Одним из важных в теории электро-

кристаллизации является вопрос о месте разряда ионов металла. Непосредственно

восстановление гидратированных ионов металла до атомов в местах роста зароды-

шей статистически маловероятно. Можно предположить, что ионы металла восста-

навливаются в любом месте поверхности до адсорбированных атомов, которые

по-

том по поверхности металла диффундируют к месту роста. Согласно другой кон-

цепции, ей противоположной, энергия активации перехода из гидратированного

иона в растворе в незаряженный атом слишком велика и перенос не может осуще-

ствляться с заметной скоростью. В связи с этим переносимая по поверхности час-

тица является не адсорбированным атомом (адатом

), а адсорбированным ионом

(адион). Миграция адиона по поверхности будет сопровождаться постоянным

уменьшением гидратной оболочки и увеличением числа координационных связей с

атомами металла.

Электрокристаллизация часто сопровождается образованием осадков с пред-

почтительной ориентацией кристаллов (текстурой). При образовании текстуры в

расположении отдельных, кристаллов наблюдается некоторая упорядоченность.

Кристаллографические направления кристаллов становятся параллельными како-

му-то общему направлению, называемому осью текстуры. В поликристаллическом

осадке может быть одновременно осуществиться несколько различных кристалло-

графических направлении. Чем больше кристаллов, имеющих данное направление

роста, по отношению к общему числу кристаллов, тем выше степень ориентации

или степень

совершенства текстуры. Иногда структура растущего осадка повторяет

структуру металла основы. Такое явление называется эпитаксиальным ростом.

В практических условиях процесс электроосаждения нанокристаллических

осадков довольно сложный. После формирования сплошного слоя осадка дальней-

ший его рост можно рассматривать как осаждение па подложке из того же металла.

Принято различать четыре типа поликристаллических осадков: 1) крупнокристал-

лические осадки, ориентированные по отношению к основе и воспроизводящие ее

структуру; 2) мелкокристаллические неориентированные осадки, состоящие из

беспорядочно расположенных нанокристаллов; 3) мелкокристаллические осадки

столбчатой структуры, предпочтительно ориентированные в направлении электри-

ческого поля; 4) изолированные кристаллы, ориентированные в направлении элек-

трического поля (дендриты, порошки).

Глава V. Раздел 6. Нанокомпозитные материалы

Будет некоторой банальностью постулировать, что сходные группы материалов

обладают и сходными же свойствами. Если мы имеем в виду металл или сплав, да-

же неизвестный, то можно с большой долей уверенности предположить, что он бу-

дет обладать свойствами, присущими и другим металлам или сплавам - высокой

прочностью, пластичностью, хорошими

электропроводностью и теплопроводно-

стью и т.д. Если это вяжущее типа бетона, то этот материал будет обладать свойст-

венной бетону высокой жесткостью и хрупкостью. Однако, имеется группа мате-

риалов, обладающая необычным сочетанием свойств разнородных материалов.

Железобетон позволяет сооружать конструкции, выдерживающие большие изги-

бающие нагрузки (пролеты мостов, оболочки), которые противопоказаны исходно-

му бетону, поскольку он растрескивается при достаточно небольших изгибающих

нагрузках.

Прочность двух стержней одинакового сечения из сходных материалов, древе-

сины и бамбука, существенно отличается - бамбук приблизительно в два раза более

прочен и гибок. Необыкновенным сочетанием прочности, жесткости и легкости ха-

рактеризуются кости животных и человека. Особенно высоки характеристики

трубчатых костей птиц

, имеющих минимальный вес. Изготовленные из любого из

известных материалов подобные изделия имели бы несравненно большую массу.

Такие материалы, сочетающие в себе свойства, присущие порознь нескольким ма-

териалам, называются обычно композиционными материалами (КМ). С точки зре-

ния диалектики ничего необычного в том, что, что совместная работа разнородных

материалов дает эффект, равносильный

созданию нового материала, свойства ко-

торого как качественно, так и количественно отличаются от свойств материалов и

компонентов, его составляющих и образующих.

История композиционных материалов насчитывает много веков, а представле-

ние о композиционных материалах заимствовано человеком у природы. Уже на

ранних стадиях развития цивилизации человек для строительства использовал кир-

пич из глины

, в которую замешивалась солома, придававшая повышенную проч-

ность или делал составные луки, обладавшие в прямом смысле слова мозгоушиби-

тельной дальнобойностью. Можно сказать, что большинство используемых мате-

риалов являются композитными в том или ином смысле, даже человек, закатанный

под асфальт или в бочку с бетоном. Одним из наиболее ярких примеров композит-

ного материала является фиберглас из стеклянных волокон, скрепленных полимер-

ным связующим, структура которого повторяет структуру бамбука, где непрерыв-

ные волокна из целлюлозы находятся в более пластичной матрице с низким моду-

лем.

Все эти материалы являются результатом объемного сочетания разнородных

компонентов с разными свойствами, и при этом композиции имеют свойства, кото-

рых

не имеют отдельные составляющие. При этом можно выделить основу или

матрицу и внедряемые компоненты. И матрица, и компоненты не обязательно вы-

ступают в единственном числе. Известны композиты на базе металлов, керамики,

стекол, углерода, пластиков и других материалов. Практически всякий современ-

ный материал представляет собой композицию, поскольку все материалы чрезвы-

чайно редко применяются в чистейшем виде. Это создает определенные чисто тер

минологические сложности - термин композит механически распространяется на

все сложные системы, содержащие несколько компонентов. Следует подчеркнуть,

что наука о композиционных материалах (раздел материаловедения) зародилась

недавно, на рубеже 60-х годов, и разрабатывалась главным образом для решения

проблемы улучшения механических характеристик и жаростойкости. В последние

годы в связи с расширением комплекса свойств, реализуемых

с помощью полимер-

ных композиционных материалов, значительно расширились исследования по соз-

данию антифрикционных композиционных материалов медицинского и биологи-

ческого назначения и прочее.

Современное определение композиционных материалов предполагает выпол-

нение следующих условий.

1. Композиция должна представлять собой сочетание хотя бы двух разнород-

ных материалов с четкой границей раздела между фазами.

2. Компоненты композиции

образуют ее своим объемным сочетанием.

3. Композиция должна обладать свойствами, которых нет ни у одного из ее

компонентов в отдельности.

Существующие композиционные материалы можно разделить на три основных

класса, микроструктурные; дисперсно-упрочненные; упрочненные частицами и

армированные волокном. Эти материалы представляют собой матрицу из какого-

либо вещества или сплава, в которой распределена

вторая фаза, обычно более же-

сткая, чем матрица, которая служит для улучшения того или иного свойства. В ос-

нове разделения трех упомянутых классов композиционных материалов лежат осо-

бенности их структуры. Для дисперсно-упрочненных композиций характерной яв-

ляется микроструктура, когда в матрице равномерно распределены мельчайшие

частицы размером от 0,01 до 0,1 мкм в

количестве от 1 до 15 об.%.

В композициях, упрочненных частицами, размер последних превышает 1 мкм, а

содержание - 20-25 об.%. Для структуры армированно-упрочненных композитов

характерны значительная анизодиаметричность армирующих волокон — их диа-

метр колеблется от долей микрона до десятков микрон, а длина — от микрон до

непрерывных волокон практически неограниченной длины при содержании от не-

скольких процентов

до 70-80 об.%. В последние годы появился еще один класс

композиционных материалов — так называемые нанокомпозиты, структура кото-

рых характеризуется включением второй фазы с размерами в несколько наномет-

ров, содержание которой тоже достаточно невелико. Надо отметить, что на самом

деле нанокомпозиты известны с глубокой древности (римское стекло с перемен-

ным окрасом, вызванным добавлением соответствующего нанопорошка в шихту

или витражи средневековых соборов). Просто наши предки предпочитали пользо-

ваться здравым смыслом, а не придумывать экзотические названия.

К нанокомпозитам теперь относят два класса композитов. Первый это собст-

венно нанокомпозиты, имеющие нанометровые размеры и построенные по класси-

ческому принципы - матрица и армирующая фаза

. Второй класс - это макрообъек-

ты, армирующей фазой которых являются наночастицы, внедрение которых меняет

свойства матрицы именно за счет высокой дисперсности частиц.

Если целью создания нового материала является увеличение прочностных ха-

рактеристик, то для достижения максимального упрочняющего эффекта более

прочный компонент должен играть роль усиливающей, упрочняющей структуры.

Совершенно естественно, что в

этом случае наиболее выгодной формой использо-

вания армирующей фазы является тонкое волокно, так как известно, что с умень-

шением толщины волокон их прочность заметно возрастает. Как и в случае дис-

персно-упрочненных систем, в волоконно-армированных композитах наиболее вы-

сокие прочностные характеристики реализуются при высоком содержании арми-

рующих волокон — 65—70% и более

. Теоретически на примере полимерных ком-

позиционных материалов было показано, что максимальное содержание армирую-

щей фазы составляет около 88-90 об.%. Применение углеродных нанотрубок в ка-

честве армирующей фазы и позволяет увеличить прочностные характеристики во

много раз несмотря на то, что линейный размер каждой отдельно взятой нанотруб-

ки всего десятки и сотни нанометров.

К таким же результатам приводит использование в качестве армирующего ма-

териала нитевидных монокристаллов - "усов", представляющих собой иглообраз-

ные нитевидные высокопрочные монокристаллы металлов, оксидов, карбидов с

большим соотношением длины к диаметру (> 20 - 25). Механические свойства та-

ких усов близки к теоретически рассчитанным для совершенных кристаллов. Од-

нако такие усы имеют очень высокую стоимость, получают

их в крайне малых ко-

личествах и при помещении их в матрицу необходимо создать условия для равно-

мерного их распределения в матрице и укладки их определенным образом, чтобы

не создавать препятствия для реализации прочностных характеристик каждого из

них. Поэтому углеродные нанотрубки пока вне конкуренции.

В нанокомпозитах второго типа содержание одной

из фаз составляет от долей

до нескольких процентов, а размеры дисперсных частиц имеют порядок 10-100 нм.

Столь малых размеров частиц удается достигнуть главным образом в результате

химического выделения (чаще всего восстановления) их из соединений с другими

элементами, в частности из металлоорганических производных. Введение таких

количеств металлов оказывается достаточным, чтобы существенно изменить важ

ные физические свойства, такие, например, как каталитическая активность в хими-

ческих реакциях, магнитные и электромагнитные свойства. Ограниченный круг ма-

териалов, разработка которых пока еще не вышла за лабораторные рамки, не по-

зволяет привести сведения о практических путях их получения, но можно предпо-

ложить, что это обычные технологии получения наночастиц, без какой-либо экзо-

тики.

К группе дисперсно-упрочненных композиций относятся главным образом ма-

териалы на основе металлических матриц, где

в качестве дисперсных частиц вы-

ступают окислы (например, SiO

, Al

, в медной матрице), а также на основе не-

которых силикатных матриц. Из-за близости формы дисперсных частиц к сфериче-

ской в таких материалах анизотропии свойств практически не возникает. Основной

механизм упрочняющего действия в таких композиционных материалах связан с

повышением сопротивляемости матрицы деформациям под действием нагрузок.

Величина возрастания прочностных характеристик относительно

невелика. Однако

большую ценность этим материалам придает их способность работать при повы-

шенных (по сравнению с металлами) рабочих температурах, превышающих поло-

вину абсолютной температуры плавления или фазового превращения. Для компо-

зиционных материалов на основе металлических матриц наибольшее распростра-

нение получили методы порошковой металлургии, электрохимические, окислением

или восстановлением, кристаллизацией из расплава.

упрочненных частицами композитах коэффициент возрастания прочности

достаточно велик (от 2 до 25), а высокотемпературная стабильность зависит от ха-

рактера изменения свойств дисперсной фазы при высоких температурах. Как и в

случае дисперсно-упрочненных материалов, их свойства, как правило, изотропны;

появление анизотропии может быть связано с вытянутой формой частиц некоторых

дисперсных материалов. В связи

с ростом поверхности раздела в формировании

прочностных свойств существенно возрастает роль межфазного взаимодействия.

Основной эффект повышения прочности в этих КМ достигается в результате

уменьшения способности к пластической деформации относительно более под-

вижной матрицы, при этом прочность возрастает с уменьшением доли матрицы.

К числу наиболее универсальных видов композитов следует отнести армиро-

ванные

волокнами металлы — они позволяют существенно повысить и прочность,

и жаростойкость. Для эффективного упрочнения волокно должно быть прочнее и

жестче матрицы, которая в этом случае передает нагрузку на более прочное волок-

но. Использование наноразмерных волокон и усов позволяет достигать наиболее

высоких показателей прочности композитов, однако необходимость предотвраще-

ния из разрушения на

всех промежуточных стадиях и придания им ориентации

создает очень большие трудности в технологическом плане.

Нанопористую керамику, армированную наночастицами можно также рассмат-

ривать как своеобразный нанокомпозит. Пористая нанокерамика характеризуется

существенно нелинейными механизмами упругой деформации, что обеспечивает

высокие характеристики ее прочности, износостойкости и вязкости разрушения.