Серия "Технология полупроводниковых приборов и изделий
микроэлектроники". В 10 кн.: Учебник для ПТУ. Кн.
10. - М.: Высшая школа, 1990. - 111 с.: ил.
В книге описаны методы и технические средства контроля и измерений параметров полупроводниковых приборов и ИМС, а также различные виды их испытаний. Приведены основы статистической обработки результатов измерений и испытаний. Рассмотрены типовые измерительные схемы и компоновка высокопроизводительных измерительных систем.
10. - М.: Высшая школа, 1990. - 111 с.: ил.
В книге описаны методы и технические средства контроля и измерений параметров полупроводниковых приборов и ИМС, а также различные виды их испытаний. Приведены основы статистической обработки результатов измерений и испытаний. Рассмотрены типовые измерительные схемы и компоновка высокопроизводительных измерительных систем.