Минайчев В.Е. Нанесение плёнок в вакууме

формат djvu
размер 1.06 МБ
добавлен 31 августа 2011 г.

Серия "Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники". В 10 кн.: Учебник для ПТУ. Кн.
6. - М.: Высшая школа, 1989. - 96 с.: ил.
В книге описаны технологические процессы нанесения тонких пленок в вакууме в производстве полупроводниковых приборов и ИМС: термическое испарение и ионное распыление (в том числе диодное и магнетронное распыление, высокочастотный и реактивный методы ионного распыления). Рассмотрены основы построения вакуумных систем и основные типы установок вакуумного напыления. Рассмотрены методы контроля параметров процессов и качества получаемых слоев, вопросы электровакуумной гигиены и техники безопасности.

Смотрите также

Минайчев В.Е., Одиноков В.В., Тюфаева Г.П. Магнетронные распылительные устройства (магратроны)

формат djvu
размер 738.73 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

ЦНИИ «Электроника», 1979, 57 c. Серия 7 «Технология, организация производства и оборудование» Выпуск 8(659) (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973—1979 гг. ) Научный редактор канд. техн. наук, профессор И. Г. Блинов Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описан...

Пономарев В.Б. Оборудование заводов материалов электронной техники

Практикум

формат pdf
размер 1.28 МБ
добавлен 06 декабря 2010 г.

Екатеринбург, 2007, 97 стр. Выбор материала конструкций. Характеристика технологических операций. Изготовление полупроводниковой пластины. Калибровка стали. Шлифовка базового и дополнительного срезов. Оборудование для резки слитков на пластины. Очистка пластин. Шлифование пластин. Крепление пластин. Полирование пластин. Фотолитографическая обработка пластин. Конвейерные термические установки. Установки для нанесения тонких пленок в вакууме. Ионно...