ЦНИИ «Электроника», 1979, 57 c.
Серия 7 «Технология, организация производства и оборудование»
Выпуск 8(659)
(по данным отечественной и зарубежной печати за 1973—1979 гг. )
Научный редактор канд. техн. наук, профессор И. Г. Блинов
Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов.
Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др. ) в основном за 1973-1979 гг.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».
Серия 7 «Технология, организация производства и оборудование»
Выпуск 8(659)
(по данным отечественной и зарубежной печати за 1973—1979 гг. )
Научный редактор канд. техн. наук, профессор И. Г. Блинов
Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов.
Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др. ) в основном за 1973-1979 гг.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».