Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1986. - 684 pp. (на англ яз.
).
Книга представляет собой первый том широко известной серии из 4-х книг, охватывающей практически все вопросы технологии СБИС. Несмотря на то, что книга написана в 1986 г., во многом она не потеряла своей ценности и в настоящее время. В книге удачно воплощено стремление осветить все аспекты технологии СБИС с единой точки зрения, при этом весь материал книги отличается высоким уровнем изложения при сохранении ясного и понятного стиля.
Часть глав книги посвящена основным технологическим процессам: окислению, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, фотолитографии, напылению, жидкостному химическому травлению, отмывке, плазмохимическому травлению.
В других главах рассматриваются общие аспекты технологии СБИС: вакуумная технология, свойства тонких пленок, технология полупроводникового кремния, методы исследования материалов, методика планирования эксперимента для оптимизации процессов.
Книга будет весьма полезна профессионалам в области технологии СБИС, а также преподавателям, студентам старших курсов и аспирантам соответствующих специальностей.
Книга представляет собой первый том широко известной серии из 4-х книг, охватывающей практически все вопросы технологии СБИС. Несмотря на то, что книга написана в 1986 г., во многом она не потеряла своей ценности и в настоящее время. В книге удачно воплощено стремление осветить все аспекты технологии СБИС с единой точки зрения, при этом весь материал книги отличается высоким уровнем изложения при сохранении ясного и понятного стиля.
Часть глав книги посвящена основным технологическим процессам: окислению, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, фотолитографии, напылению, жидкостному химическому травлению, отмывке, плазмохимическому травлению.
В других главах рассматриваются общие аспекты технологии СБИС: вакуумная технология, свойства тонких пленок, технология полупроводникового кремния, методы исследования материалов, методика планирования эксперимента для оптимизации процессов.
Книга будет весьма полезна профессионалам в области технологии СБИС, а также преподавателям, студентам старших курсов и аспирантам соответствующих специальностей.