Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1995. - 744 pp. (на англ яз. )
Книга представляет собой 3-й том известной серии из 4 книг, посвященной технологии СБИС.
Настоящий том посвящен рассмотрению важнейшей для технологии современных СБИС области - МДП-транзисторам с субмикронной длиной канала. В книге рассматривается многосторонняя взаимосвязь физики, конструкции и технологии субмикронных транзисторных структур. Значительное внимание уделяется рассмотрению физических моделей субмикронных транзисторов.
Книга представляет собой 3-й том известной серии из 4 книг, посвященной технологии СБИС.
Настоящий том посвящен рассмотрению важнейшей для технологии современных СБИС области - МДП-транзисторам с субмикронной длиной канала. В книге рассматривается многосторонняя взаимосвязь физики, конструкции и технологии субмикронных транзисторных структур. Значительное внимание уделяется рассмотрению физических моделей субмикронных транзисторов.