Серия "Технология полупроводниковых приборов и изделий
микроэлектроники". В 10 кн.: Учебник для ПТУ. Кн
.7. - М.: Высшая школа, 1990. - 128 с.: ил.
В книге описаны процессы воздействия на твердое тело электронных, ионных и оптических пучков, применяемые в микроэлектронике для травления диэлектриков,полупроводников, металлов, нанесения их тонких слоев на подложки и модификации поверхностных слоев полупроводниковых пластин. Приведены сведения по ионной имплантации, молекулярно-лучевой эпитаксии, электронной литографии, плазмохимическому травлению и осаждению слоев, ионно-лучевому нанесению слоев, различным видам лазерной обработки (подгонке сопротивления резисторов и емкости конденсаторов, разделению и сварке материалов, стимулированию травления). Рассмотрены типы технологического оборудования.
.7. - М.: Высшая школа, 1990. - 128 с.: ил.
В книге описаны процессы воздействия на твердое тело электронных, ионных и оптических пучков, применяемые в микроэлектронике для травления диэлектриков,полупроводников, металлов, нанесения их тонких слоев на подложки и модификации поверхностных слоев полупроводниковых пластин. Приведены сведения по ионной имплантации, молекулярно-лучевой эпитаксии, электронной литографии, плазмохимическому травлению и осаждению слоев, ионно-лучевому нанесению слоев, различным видам лазерной обработки (подгонке сопротивления резисторов и емкости конденсаторов, разделению и сварке материалов, стимулированию травления). Рассмотрены типы технологического оборудования.