Савицкий Е.Г.(ред). Благородные металлы

Подождите немного. Документ загружается.

тАБл|!

цА

6.28

[1€р92

[1(р72

[!€р71

||€р/т1о68-27

|![р67

|{€р65

|1€р62

|!(р50

779

750

655

779

695

650

779

899-

982

780

730-

77о

870

779

630

615

б90

726

74о

645

640

822

860

685

615

610

810

775

72ь

810

850

870

в;-

860

780-

705-

815

850-

900

890

779

795

765

805

722

723

860

|1€р50

||€р(.ц{б0'34-

||€р?'у111({5-

|1€р40

||(р37

|[€р25

|1(р25ф

|1€р15

|-!€р10

лированнь!м

вольфрамом,

1'ер>кавеют:рй

т)(аропрочн'й

:'1|:у.:^]::]'

!.Ё]'ур"

пла*ленйя

сг.ы,

т:;в)

^и

пайки

(!г") стандартнь|х

среднеплав-

к::х

п!йпоев

приведень|

табл'_6'28'

тАБлицА

6'29

2о

82,5

7о

т7'ь

25_

2т

;

1030

990

910

920

1000

950

1020

1 090

830

630

925

930

980

1050

955

850

1040

1в,в

18,65

,74

,21

15,1

16,0

14,6

13,5

\83

15,5

14,9

15,4

\2,5

:пэ

5ъ

1п

1Ре

5А9

5Ра

6(г

1'0

€г'

1Б

51п

20'А8

2|п

96б_970

935-940

910

910-914

955-970

950

9б0_990

965-1075

647-830

550-630

905-910

885-896

940-967

975-1038

960-980

860-900

'.835-845

990-

10 1

973-

1 029

975-1025

ьг

пРипои

нА

основв

золотА

содер1кание' %

(по

массе)

440

тугоплАвкив

пРипои

тАБлицА

6.30

1''1''€

7::в''€

?',-6€одер:кание'

(по

массе)

г;|^,!

26,6

'о

2о

Р6

68.

70.

3 }[п

ш!

+Б;

А{п'

48\!

75Р[

40Р{

807

805

1 180

150

100

998

1237

1 120

1080

1645

1200

810

90о

1 200

1200

120

1031

\237

120

10ю

1695

1250

815

905

1220

1200

1 120

1040

1250

125

1095

1710

1260

Больтшинство

припоев

на

основе

Аш

представля:от

собо:?

двот?нь;е

".',Б]/'"д*,]ё,'

"''1

дй:$-либо

трех_

йногокомпонент}1ые

сплавь1

па

основе

этих

систем

и'меют

температуру

]!лавле1{-']-1 .^о:'$0_]"

1000

"с.

|1рименяются

,'"*'р'"'*е'

авиа|ш-онной

космическои_'тех-

нике для

пайки деталей

из

ме]ци,

никеля

их

сплавов' углеродистои

р!

хсаоопоонной

стали,

молибдена,

вольфрама

тантала-

(табл'

6'29)

т}:ч;|:?;;!.'Ё;;;',;

соединения

отличаются

вь:сокой

прочностью

стор]костью

окислению'

!цаоплавкс;е

прцпо|1

'|т

.пп4р^п 6рпи.плття.

молиб-

.[],ля

пайки

жаропрочнь|х

сталей,

никелевь|х

сплавов'

бериллття'

моли

дена,

циркон""'

"''.р!''й'йр-/й'*"''-'^хР"''"

на

основе

серебра'

пал_

ла.1ия'

реже

3олота

платинь!

(таол'

о'о["

3ксплуатацио,",'"'"'*,р!''ф""'"

т|11н1тх

соединений

при

повы_

1ценнь1х

температурах

за"йсят

йе

только.

от

состава

припоя

паяемого

материала,

',р.л"'йй1'й

".**"

лчФФузионными

процессами

3оне

;;;;й:';;;.;о,!й'у."'"ть

или

ослабить

паяное

соединение'

6.8.

!}1атериалы

для

микроэлектроники

Р1икроэлектроника

0трасль

науки

техники'

и3делия

которой

ис-

поль3уются

самых';;;;;;''";';б_'^.'"*

"аролн'го

хозяйства.

^{1ро_

;;Ёъ?

Ё;Ё";"

; ;;

;;-ъъ;!'*'р'

*,.'

,^"р^''р

"в

но св

я 3 ан

пр

огрессом

получении

,р"'е*""й, разлйннь:х

матери-алов'

обладающих

1широким

комплексом

р'.'''ор}'{[,Ё.;;;;;;.

Ё'.р?о''*,

новь!х

изделий

микро_

электро!!ики

.'""у',р}7'{_

|оздан,е

у]]-".ч.'::9'

с новь1ми

свойствами'

так>ке

разраб'''у

,'"1'*

технологических

процессов'

по3воляющих

фор'

миоовать

элементь!

^^;ь;;;;;;^;

ъ'б;;;й'"х

ра3меров

толщиной

;;Ё;;;

й;;;

до

нескольких

десятков

микрометров'

аз ,о

шо

но

ст

ш э

ле

ме нто

в, ёьспо

лн

яе

мьох

шэ

блаеоро0нь!х

металлов

ц цх

сплавов

(

использованием

олагороднь1х

металлов

в_

настоящее

время

серийно

т|$н*н###т!}^';:ндъ+*;$Ё"ь"*г*ж:шнн+#

зуют

вспомогатель,,й'"'!",',''

9словно

их

мож1{о

раздел'{ть

на

5"групп

(рис'

6'14)'

Ё^п!'пб^о^пник а |\(' мо}кно оа3делить

1(.оцтактьл

класса

металл_полупроводник

14€

мо>кно

разде'т

на три

группь|:

,,',р""!"Ёй""'^'',''^^','

(Б()

или

контакть!

барь_

44\

(

{

;

\ч

ц7

кЁ

ё$

442

443

ером

т]ъттки,

!|евыпрямляющие

ко11такты (нк)

и пасс}1внь|е

контакть1

(п()

вк

обра3уются,

€€ли

ф1т}фпп

п-тйла 1д если

9ц{Фдц

р-т|1\1а'

причем

по

концепции

[1]оттки

вь1сота

барьера определяется

только как

ра3ность-абсолютнь!х

3начений

Фп:

(Рцц.

реальных

х(е контактах

|{а

вь|соту

барьеров

Б|(

оказь:вают влияние

поверхностнь|е

состояния

по-

лупроводника'

наличие в

3ог|е контакта

диэлектрической

прослойки

:т

силы

зеркального

и3обра)кения' которь|е

определяют

механи3м прохо}к_

дения

тока чере3

контакт: термоэлектронная

эмиссия носителей над

барьер-ом,

термополевая эмиссия'

полевая

эмиссия

(туннелирование),

рекомбинашия

носителей

области объемного

3аряд^ полупроводника

или их

сочетания.

€оздание

Б!(

связано

с большими

трудностями'

прех{де

всего

с вь!_

бором металла'

подготовкой

поверхностй_полупроволйика,

вь:бором

ме_

тода

нанесения

металлической

пленки

обеспечением

рех{имов форми_

рова_н-ия

проводящего

слоя

(||€)

заданной протяженности

состава.

Ё1(

элемент'

состоящий и6

полупроводнил<а (резистора,

металла)

слоя

металла

(сплава,

химического

соединения)

и обеёпенивающий

прохождение

электрического

тока без заметного

паден![я

напря}кения'

без

эффектов выпрямления

и накопления

зарядов'

а свя3ь ме)кду

то_

ком

и напряжен!!ем

на нем выра)кается

линейным

законом

и не 3ави-

сит

от.полярности

прилох{енного

напрящения

в 1пиро|(ом

диапа3оне

уровней

энергии и

длительности

протекающих

токов._|(ак

правило,

Ё1(

оора3уется

между

металлом

и полупроводником'

если

фм{фпп

1-1|||А,

$'м}-флп

р-т\|па.

Ёеобходимо,

нтобы

удельное

переходное

сопротивле-

ние Ё{(

ле}кало в

пределах

-10-9-10_10

@м.м2. Ёизкоомные'Ё(

по-

лучают

легированием

приконтактных

областей полупроводника

приме_

ся!{и

того

я{е

типа

проводимости

до

концентрации

1.1025-1.10и

м_3,

созданием

боль:пого

нисла

рекомбинационньлх

центров

в приповерх1-{о_

стном слое

полупроводника

подбором металлов

указаннь|ми

вь1ше

соотно1]тениями

работ

выхода

для

п-

р-областей.

|!омимо

Б(

и 1_1(, в

14€ подавляющую

часть площади

(-80

занимают

пассивные

контакты

(|11()'

образованные ме>кду нижним

сло_

епт

пленочт:ой

токопроводящей

системы

(т€)

и слоем

диэлектр!|ка'

тол-

щина

которого

достаточно

велика

обеспечивает исчезающе

малое

действие

электрического поля

на

полупроводник.

3лектривески*] ток

(кроме

тока

!тенки)

чере3

эти коптакты

не проходит.

8 процессе эк-

сплуатации

||1(

дол>кнь:

иметь вь!сокое

стабильное

электрическое

со_

противление' прибли;кающееея

по величине

сопротивлению

диэлект_

рика'

а та!{}ке вь!сокие

характеристики

наде}{ности'

определяемь1е

ад_

гезией токопроводящих

систем к

диэлектрику

и характером

физико-хл.т-

мического взаимодействия металла

диэлектриком

в течение

времени

эксплуатации и хранения

[751].

||о

требованиям'

предъявляемь|м

к А!у|3,

для

тонкопленочнь1х

эле_

ментов подходят

легкоплавкие А|, |п'

(А1-5|)'

(А1_€ш)'

А1_}19, туго_

плавкие переход1{ь|е

!![о,

'${',

т!'

(т|_ш)

другие

металль| (сплавы),

благородньте

тугоплавкие металль1' сплавь|'

твердь!е

растворы

и хими_

ческие

соединения на

их

основе;

для

нк

и 8(-Р4'

Р|,

п'::,

|[п,

1г, Фз,

(Р6

т1)'

(Ра

у)'

образующие

химическ1!е

соединения с

полупроводника-

м11;

Аля

ме)ксоеди1{ений

высокопроводящие

Аш' А9'

реже

Р0;

для

резисторов

(Ра_ш)

сплавы с химически

активньйи, способнь:ми к

окислет1ию

п_ри невь!соких

температурах

добавками;

для

конденсаторов

и 3атворов

}1!,||-структуР

(металл-диэлектрик-полупроводник)_

Ёьт_

сокопроводящие'

не в3аимодействующие

диэлектриками

материалы

Аш'

49'

Р0.

БлагороАньхе

металль1

находят

применение

при

создании

акфивных

вь1сокочастотнь!х

элементов 11€, таких как

диодь1

11]оттт<гл

и тран3}|сто_

Ё{

!о

€

14б

*Ёв

$$$

Ё$$

*Ё

в\

€

Ёх

$Ё

ЁЁ

..1 \

Ё{

'в

ь5

$к

Ё:

\х

Ё$

н$

ф-

Ё$Ё$$в

з\

*чЁ

Ёв

ъ$

\!!

Ё$*

$$€

$х-

х$

Ё=

$к

вЁ-

Ёх

\'\

$Ё

ё$$

444

9::":Р{,,ф""Ру:Р'9':':.":1

-1оторых

полупроводники

вводят'

например'

1'-ч"]^:-:-."-

о_о|ьРим

радиусом

за

вата

носителей

зар

да.

рсоованця,

преоъявляель!е

к тонкопленоцнь!7'

у :! ! !9 !

чц

]\4

с ц с т е м

1' ц

с с а

м м е

л л!|3 ац!1ц

пеооходимьтй

комплекс_

€войств'

которому

долх(ны

удовлетворять

ма.

териаль|

токопроводящих

систем'

общф

виде

при;еден

на

!гтс.

6.15.

€

е н но

с т ц б

о 0 н ьо

м ет а

л1о

в,

п/,й|.

л'Б

щш

цх

прцмененце

мцкроэлектронцке.

Фц3цко-хцмццескце

основь!

вь16ора

металлов

9:,^б::-у-:.'я_в

производстве

ймэ

з|нйй1ют

благородпь:е

металлы

::.':!]т:!

-9т9_определяется.

их

свойствами':

высок'ой

коррозионной

стоикостью

ра3личных

условиях

и3готовления

эксплуайции

ис,

111сокой

прочностью

при

6дновременной

пластичности'

хорошей

техно-

логичностью

при

получении

элементов

виде

микронны*

слоев'

ано_

мально

вьтсокой

скоростью

дифф-узии

полупроволники.

теплопЁоББд-

ность'

электропроводность

работа

вьгхода

6лагородных

метал'ло"'и

сплавов

имеют

широкий

диапазон знанений'

определяемьгй

энеогети-

ческим

состоянием

электронов

в кристаллической_

решетке

оцеЁивае_

мь:й

такими

физивескими

параметрами'

как

иони3ационный

потенциал'

температура

плавления'

температура

рекристаллизации'

т. к.

л.

р.'

мо_

дуль

упругости'

времен|{ое

сопротивлени1,

энергия

активации

.д|иффу-

зии

самодиффузии,

теплота

сублимации

др.

перех'д,*Ё

о'!'.'-р6д-

|{ь!е

металль!

имеют

более

вь_|сокое

эдектрическое

солротивление

по

срав}1ению'

напримеР'

с Аш

и А9.

8елинину

сопротивлен1тя

благородных

металлов

возмо'(но

и3менять

путем

введения

легиРующих

д6бавок,

что

свою очеРедь

дает^во3]\{ожность

управлять

их

физивескими

и хи_

миче-с-кими

свойствами

86, 787].

!{-1ц9нецие

темперйурь:

прй

изготовлении

эксплуатации

элемен_

тов

й&13

..(1073-213_

(!'вызь!вает

*.*ене"йЁ

терминес"кого-;;.Ффй;_

;.у1а.1инейното

расширения

широких

пределах

для

ряда

ме|а.тлов.

у99о,ю

трудности

при

вь:боре

материалов

токопроводящих

систем

ризическои

точки зрения

свя3аны

с получением

йатериалов

с 3адан_

нь1м

соотнош]ением

работ

вь1хода

полупроводника

разлинной

степени

легирования

и металла.

Асходя

из

этоло_,

такие

металльт,

как

А1,

Ац,

А9,

€ш*ч

др.'_долх(ньт образовывать

н(

й-й''упРоводниками'

ме-

таллы

Р0, Р1'

\| и

др.-с

р-полупроводниками.

.(]днако

экспериментальнь1е

Ре3ультать|

для

боль:пинства

полупро_

водников..как

п-'

так

р-т11па

не подтверждают

эту

простую

модель,

:-1-"]_"Р|

не

уч]ить,вается

ряд

факторов,

проявляющихся

реальнь|х

структурах

[790.|.

кроме

того'

высота

барьера

от

эксперимента

к эк-

сперименту

и3ме-няется.

1аким

образом,

при

_вь:боре

мет}ллов

необхо_

димо,

кроме

работ

вьтхода

полупроводни:|а

и металла'

учитывать

со.

стояние

повеРхности

(зеркальность)

свойства

материалов

ра3лич_

нь1х

средах (газьт,

кислоть|'

щелочи'

твердые

тела при

вь|соких

темпе-

ратурах)

как

в--процессе

формирования'соединений,'так

,роце.Ё.

эксплуатации

Р1&13 (колебания

температур

диап!зоне

213_4з2

к,

взаимодействие

остатками

кислот'

й9лойей,

морской

тума1''

высокие

уровни

электричесдой

_энергии_и

др.).

(роме

того,

такиё

благородньт9

металль|'

..как

Р1,

Р0' |г,

&}:, Рш,

6э, в

!езультате'

физико_"имич..^'.о

.взаи

модействия

широко

распространент[ь:мй

в микроэлектронике

по..|у-

пр0во..(|1иками

6е и

5| образуют

стабильнь:е

раб6нем диапазоне

'ей_

ператур

химические

соединения

германиды

силициды'

обладающие

осг[овном

металлическим

типом-

проводимости

[785'

790]. €илицидь;

и германидь|

такх(е

вь1полняют

функции

буферных

слоев'

препятству_

ющих

диффу3ии_ из

.1ь|тцеле)кащих

слоев и выводов'

например' таки.\

металлов'

ках

Ац'

А!.

||рименение

Ац

и А9

обусл1эвленБ и*''вьтсокой

коррозионной

стойкостью,

теплопроводностьй,

низким контактнь|м

со_

44в

оо

ффоо

цх

ББ=':;

[-с!оо

!ш

но

о.

!д

5а

пх

-о

дх

н.]

оФ

у*

ш\

(.)

Фщ

6а

д{

он

*о

_о.

<н

Ф;

о<

цФ

А-

и{

дн

ьщ

9Ё

<у

Ао

<т

Бц

тх

оу

оо

оз

**у

1.6

>*о

бхк

_=.^9 ь

_9 :9доо ; софф

{в

Ё;вЁв ;

#;Ё

оФт

6т

о !"х6о6

\о

Б.*д+ёФЁ9+++

Ё"3

Ёэ!а{тазд

Ёттт

;т?

:;го

осл

! ]БЁо

;!х

&ё

^5ь

дФЁ

-э]

о.

сб'}Ё

азэ

(-)

6.хк;!

яФ6<

ао=о

(вбх

н ьог

а @6:| о

о58Ёо

!ц

{{

со со

с.|

! ь

в ! !!

со

!о

!(о

х'вина|гввгц

в6,{;еса|]ша.|

!!!

€,

€.

Ё{

.е'

.в.

Ё{

с'|

со

г-

-$Б

3 !-!

€Б

со

БР

!!9

со

ь!

ь-

сь

г-

со

{

93о

;оо

хЁ:1

9!'

<х

,о

Фо

*АФ

А{ Ф

вФ

ФЁ

анч

оёЁ

9=5

; с*

Ёё

447

противлением,

низким

у9д{леу

нормальной

упругости'

хорошей

смачи-

ваемостью

припоями,

хорошей

способностью-

к'

диффйио;й-'_

;;ъ*.'

во3можностью

химического-

электрохимического

доращивания

по фол_

у^1"^_"

рядом

других

свойств

[748]'

€войства

силийидов

большинства

олагородных

металлов'

используемь1х

й:{3,

приведень[

табл.

6.31.

--'

Р _.у''

дефицитностью

благород",'*-й"''''ов

в последнее

вре_

мя

наметились

тенденции

сокращений

объемов

их

исполь3ова"""

про-

изводстве

|'1}13

за

счет

уменьшения

толщинь!

пленок,

селективной

ме_

таллизации'

частичной

или

полной

замень|

сплавами

с меньшим

содер_

#':::*^1ч1|:|9д]."]]

м.еталлов

или

неблагороднь!ми

"е",,',йй

1!6+]'

| окоп

ровоо

ящце

сцстемь[

нс!

основе

блаеоро0ньсх

металлов

!окопр-о-в-одящие

системь[

зависимости

от

функционального

назначе_

ни

я |1!у|3

и3гота

вли ва

ют

одя

ослой

нь:"

,'}6.''_й

";й;';'й

";;;;;;"

невь]ми..

\з*д'.*

слой

такой

системы

Ёы,Бй,'"'

одну

или

несколько

фтнч1я.

1(ак

правило,

ни>кний

слой

обеспечивает

вь|сокую

адге3ию

участкам

диэлектрика и полупроводника

и образует

контакт

металл-

полупроводник

с 3аданнь1ми

свойствами.

8 зависимости

от природь1

металла

и полупроводника'

во3мо)кно

образование

:широкой^.Ё*й,'

контактных

слоев (рис.

6.|6).

другие

слои вь!полняют

функции

барьеров

между

легкодиффунди-

рующими

материалами

обеспечивают

вьл6окую

электропровё:.{йость,

корро3ионную

стойкость

АР.

Разновидности

токопроводящих

систем

}|споль3ованием

6лагороднь]х

металлов

условия''*

фй;ро;;;,

приведены

табл.

6.32.

_ _'!Рол}ктами

физико_химического

взаимодействия

контактирующих

материалов

являются

переходнь|е

слои'

отличающиеся

по

составу

свойствам

как

от подло)кки'

так

от

"6'.'д,';{_й1?ййй.'с'ру1'ур?'"р"-

тяженность

!! концентрация

примесей..

переходнь|х

слоеБ

.и

!арак{ер

их

срастания

с подлох<кой

и исходной

плёнкой

определяют

сББй.т,,

контактов'

следовательн'о,

А!у1^3.

современнь:х

полупроводнико_

вьтх.

приборах

и А(,

преобразующих

значи}ел.нь|е

уровни

электриче_

ской

энергии,

работающих

на

высоких

частотах

имеющих

тонкопле_

19]ч1"

элементь|

микронных

и_субмкронных

ра3меров

повь|шенную

на.1ел{ность'

вместо

металлов

А|'

А9,

Аш,

не о6разйщих

5| химй{е_

ских--соединений,

все

чаще

исполь3уБт

силицидо6ора.уйщиБ

й;;;;;;;"'

!9:,]}:.'}::]\'^!-.'|+'.т:г'

1а,

}:]б

".,,'"!]

й?-;;;;;;;Рьъ,"7вЁ,';в9т:

1 а

щат

нь!е

пок

рь!т,.!я,

ь!воаь|

ц в

сполоеательнь!е

лементь!

11н|ееральнь|х

схе14

на

основе

блаеоро0ньсх

металлов

[,ля

механинескогс!

закрепления

кристаллов

интегральных

схем

(|4€)

корпусах

и их коммутации

внётпними

цепями'

,*'о''дй""''1'!_

ментами

являются

выводь1'

припои'

прокладки'

пленочные

покрь|тия.

|4х

изготавливают

и3

чисть!х

благо!ол1'"гх-й!,'''",

сплавов

на их

ос_

нове

виде

тонких

или

толстых

пленок.

Ёаибольшему

числу

требованпй

для

этой

группь:

элементов

отве_

нают

Аш,

А9, Р0

"1таол.

о.3Ё1.

Ац

применяется

для

защиты

от коррозии

корпусов

|4€

полупро_

водниковых

приборов;

со3дания

нераз{6мньтх

разъемных

электриче_

ских

контактов;

обеспенения

теплоо1вода;

подсоединения

выводов'пай_

кой,

термокомпрессией

или

ультра3вуковой

."|ркой;

"Ёйй'ййй?йэ'д"_

коративного

вида.

||окрытия

из Аш

обладаю/

высокой

стойкостьй

агрессивных

средах'

}|е тускнеют

и сохраняют

блеск,

имеют

1?и3кую

]^'-'*.|:

'".раость

(780-980

/!1||а)

и износостойкость.

Фднако

п'ри

толщинах

-б_8

мкм

плохо

3ащищают

основу

корпуса

от коооозии

из-3а

пористости.

Ёедостаточна

наде)кность

ко!ттак{оЁ

Ац-А|'Ёслед_

стви9

6$рд39вания

интерметаллических

соединенйй

1!люмйний)_;-_;;_

створения

Ац в

оловянно_свинцовых

припоях.

448

:оФФбф,

ч;

=Ф!ххФн

ч 9Ёц9.Ё5в

:т

*}5 ь

\ ;ЁЁЁ*Ёв

тЁ.чёЁ1

н:

н !

!у:-Фх5

у|*Ё3!-в

Ё**йхзр

*._;о;Ё*

::й |

ЁФ

й Р

ч хд Ёэ! з Ф

о;[*о{о,хч

ё,=3 15*'

г'Ёв'в

1 5

о.о

Ё вч.:

${ н

ню_о=

1й=5о:"']9

]

!"вонэ

1!э'ыё*я

вй33ЁЁ3а'Б

| : э

-_Ф

Ё'Ёк'ЁЁ*Ё!

=|=

б Ф >'

э 2' ссР'

: ЁЁъввЁ'нЁ

< 5наЁЁ;!3

Ё я т.:3

ь-

т о !д !Ф !

дэ

Ё1

=Ё''Б

Ёдб

9 ]9*цн:.

ф ! ч

=-:

;

Ф-

у :

з 9эЁ ц,к^х6

-:ё9х5:а

Ф:=

Фз!с

!: 5!.''ы нв&

_ !'\!н 6 ! *

у;9ав!*1!

'х

)'5

-_ -_д

Ф 1я Ф

хд

* 9 э., з !? :

дкхбяч;ц

с 3э'Ё

-\о:го>190о

;

'Ё'н:Ё

|.нт

5 0Фнд",\*ь'

5 } | 2 ц6_9

:з

! Ф 9 у у>

ц:

='/

д чо.^'-

:йв х Ё ц

з.6

* ];: ! х;

я<

.д

*'=о*._

Ё :

!я

в'"ё

.'Ф9н

._ Ё

.--нд|ЁЁ.)

-..А^у=;

пБх

&:5

29*688

Ё+: з Ё:*

3^9 А

-со

э=

]|ЁЁ

_?эт'

^*]

! 1]!

Ё=

-Ф9

Ф.

=;93

ё.*п

? азРЁ

],{|эд

э Ф з]Ёй

Б;; ?'*

Ё}€э*!

в*

3в

зн;

3;+}ёЁ

нац;а?аь

*к8]^т

ч[Ёп

Ё3?Ёэ

65э11

ч3

ч6

|!:!

:[3Ё=

;

ь:т

+эё3.|'\

ёц

5ч

дчц

=ф

=!э

+;.

$=х

*Ё.|.ф х |!

;

!Ё6Ё*з

ь1

1оё-]8

Ё.:

!,\8ц*5".

Ё :',;

5_бФд

}о'!,вЁ7

з Ё

Ён!Ёто

'|',:'!'

'1*

Ёёт

'3;€ц

;-9

.].ц5)Ё{(=

х*: Рт

.3.!.:.:

кБЁ,=5

Ё="Б='э

Ё,х

аа

Б 1+ ]{*

воФоЁ']'Ё ."*::

нчБ<э'|'>ц[_ь'н

,л

;

|г

д. !

ьФ !

о'- |

ЁЁЁ!^

оЁ

449

!о

г-

Б 61со

т т

ы фтЁэ

Фо)

ЁЁфЁ\Ё€8

о)

сок

(ло*б"]1б

нъ!

;

!*да

!я Ё-3 Б *

_.ф"-Ф

Ф:

<з!!

Фа

-9.}ч9>о

-_.|

- =

9р-;63|!

до

ыо

''.?ц-

Фд

о;-<ь

фщ;со

'х

'''г- к

иЁ

[а.]

";!?р$..

д2

+ио

..ф

=..т=

чн5{3)-

т *щ Ё+!

5!5

ФА1

/-с|=^:

д!!<3Б!!

|:Ё"

ЁЁ

,Б

"дн:

-Ф

= й 1_]о3

>э

;- ]

9**п-

1*?.€

?- ч

3ьЁЁ

сд

_}<

=,=9ЁЁ

|н

Бьн&

*-эт-кх

Ё!'..

.:т

]оЁх

яэ19=

Ё!

;;

аЁ:;Ё

'я

&ъ'!

$;9:5'

€1

а**э

(л2у

.,.1.'=

Ё{ 4н .о:Ё

н1ич9

а Ё* 6

,=9х4!4 ге' о-< ч!

5Ён-;* ;Ё

*?3я

Ёы

чъ=

€

:!?";$$Ё&3';

!;ц|дэ

*;;

;зЁ{

ЁЁ!нца;

;:*€3

1;'

т:{*

Ёэ1й::нЁ

:.д:€

4* !

;* а$ ЁЁ:8д:"-в

аЁ

;;5=т;

ЁэЁт

;1+Ё

#Ё;[;#

Ё*

ц)

Б9

ц'

г.!

о9

г|

г*

451

о-

2э*

!о

г_

(о

ь-

о)

г-

цо

г-

с\

г_

чя э 3й

<9о-

д;

!он

|а эхх

>-85 !о

}

-Ё1

€ЁяЁ

вт

9^-Ё.

Ё3

ду

.ц

{

"ь

н'н9 Ё

'Ё€

8Ён8

[о

{

Ё Ё

Ф(,

(!б

!с Ё

х !ё.1

|.,й

?оЁн ?5н

0й:Ё

иА1

Фх(Ё

Б€<

с''

*€<

{д5

!о

*о

.!.

с)

|ь1

!о-'-

--;

о.н>

ч:': :;

со

!! !]

.. с\

9т Ё;

!!.в

-ч

";;*х€шЁу

-9

'чя

;

с"э

рт€

ят*

€

;ф

н;д Ё]+

яЁЁ

*к

ЁЁа 5Ёт

*;я

<т

ч+Ё

Ё=!

,:311

]ь

6+Ё

:Б"

$!:.::

у аЁ

о-ь

в(|)

з эс6

он

й'Ё-

ь;Ёу

'.=-=;

]ё

-Ёв

ЁчтЁ

{ЁЁк

:э

а!а д5=:! ;9*? 5^

й3Ё

БЁх*

Ё::

Б* ьБ

с)

й6

Ё1Ё

!(>,

'д!1

'эФ

д>

6н

$.1

;п

с)о

.д!

Ф!

д<

\о

(б

!о

ф-

;

ЁЁ

€$

ц):

о.

!о

я^

:ь0

1--

й:

о.<

Ё=

(!!

Бд

ЁФ

у!д

€

-оо

;ь-

оо

г-

ьо,

!о!от-_

ЁЁ*й

!--

г-

гч

г-

|{фоо

ьфсо

_ь }'\

кфь

*ь

г\

{ЁЁЁ;

*Ё

ч![]Ё эт

ЁЁЁЁЁЁ'

ъ*ЁЁЁЁЁ Ёз€т

'Ёв!*111Ё$$ЁЁ;Ё;Ё1ъ

этЁЁЁ!з

;

#;]!цн#Ёц€

Ё1а

!Б

'б

!н

,|Ф

9о-

ч(1 Ф

Р-<

!-х

(-)

"ч

€

9)ц

ц<

.ь!у

"]<1

;о

Ф.-: ]

=(л

.:.|

т_

с)у

;А

-б

;9^ч

3Ф

9м

Фэ

ё*\

;|!

о*! |й

[!х!!х

'+Ё

й8ъ

;

3€

Ёэ5

3п"*

1!:

;

€

}-::'Ё*

х]."={

с*

:Ё=

ёа1

';Ё.]*?Р

];х=

,!1

:Ё:

* Ёэ

;Ё :* ?:

!Ё*;

Ё*

а;:

,1 !*

? ?ч

!ёт

*ъ?Ё

:а3

:эз

эЁ;1!*3т

э*

оэЁд Ё;3

Ё3,

;

ац

Ё]=.'?=Ё

::ьтъ

!;а

Ё|

Ё::

о*с

Ё: ъ

; й

зЁйдэ. я' {зъЁЁ

!Ё Ё Ё..тэ

;1?

я ]тхтх

ёЁ;

*!!

со

вч

г*

||о

о_.

д}о

?- д]'

0о

9'_

Ё){

нсо^осо

*.:

'';^ь

*||Ё:п

, [| з. ],

-:>'

]! ::

951

.|.

Ё1ъаЁ

х;

ъп

Ё*

\з ьл_ !..

ц'бФФ

<;*=

д;

-'|Фо

о? !.я ?т

;

з*вёъ

.1.пор;.

ад

]&ъвб1

?-,:хаЁЁч*:35эЁ1-9

!5ьБ:Ё

эЁ

]>х

|1-Ё;'

;

;*;;

!{-Ё;Ё

д*ЁЁ;

;

?;Ёяян5;нн'!

Ё;тэ;Ё

-4

Ё{

о.

'вЁ

!о

н;,

>Ф

Ё.

! ч]э}с

.Ё-Ф

о.

> п^

Фхъ

=!|у

*;а

Ё;5н

Ё&хЁ

о€Ё'ь

=х<

{,^'

::Ф2

Ё^-.

,$б

Бёд

Р2&.*

..+ ч.

н !| ]];'

дл]Р9

н но<о

9Ф

|Ф

'бдФ

;Ёак

Ё!о ч

.;3

:'''ф

!_ч

\,1

оч

(_)

|-!

ох

|- .!.

-(о

3ч

п5

'б!

]э

1!!

| ) | :-

э97

[

Фс)

ц<

!ф

ц)Ф

!.:

<\,

=Ф

-з_-

!э

,;<

н!

;е!

э<

453

со

(о

г-

с\

-(о

со

ь-

г-*

-(о

г\

г-

о,

ь_

ч!

!о

дЁЁв

*ёэ]

Бя

Ё*

$9=?

я;*

;;ЁЁ3*й;Ё

Ё;;=ЁЁ

Ё*;;

;

3#}ъ, а

ванЁ*$;*

]вз

{Ё?

?эн[

,н

Ё{ ;$? т }Ё!аЁзааяЁЁЁЁРЁ;"

1-ЁЁ*Ёзйд

Ё*з

ЁдЁтЁт};. еЁз[Ё!^т

'!€т'ь;?;тд.

€

::+,!н!тя=

и€{*о?пк

#;дэ+эа'Ёэ

}

:Ё*;ЁЁЁъЁ

[+Ё}!**Ё

;д

ЁЁ

;*Ё*э€

вв

:ББ=Б|

]??&ъ; аР=?3

93Бй9'ё

Ё€а-ЁЁ

в*-Ё3*

[*$!"-

з Ё;тэБн бдэтЁя

Ё*

;Ёнв Ё

ЁЁ]э

9а+Ёз€Ё

!ъ3ва}а

э;Ё1]за

:ЁЁ};

€

Ёэ$

ЁЁ

ав

Ё Ё

дёт;тд 3

Ёа&3ъъ

Ё +}

Ёх

хЁ[Ёх;БЁ

!!!!!!9з;

н-Ё

я}Ёч

сЁ"Ё1 .ч;т Ё:

'^ья

;€?Ё

Ёвь^,]ЁЁвр

]

ц, н9

х^т

*-*ЁЁ^д

^1т![*]^т*

Ёх

!тёх

ё;я;

3}[

}**

*д

}$к

Ё,

*х

о3

=.',.Ё

-]$но.|

,.ы1.*-_._;]:

|]-:..ь

*; ; Ёа *

;

ЁЁЁэ'1

;-з

*"5

! .эЁЁ.

д']'

г-.'

нА

ыё

]о*з

*:д

БЁт

ЁЁь

3 :Ё

"ь

5ц

ЁдЁд

Ёд**>Ё*ЁхдЁтдБх5Ё?3'д

а Ё х

<-'|'

6;5:т

об

!(д

6вчш

ч *9!оп-

яа.|._

чо?Ё

3:а 1н

ён Ё€ дд*

ч]

'(н

5о;

Ёк

Ё Ё:х+

а-

ацо

'|'

ь33

о* у

*- 5

о-

9*Ё

чэ

*н'Ё

ёЁ

;

с.ц|]

о-

!| э

,-*о 1х

Ёо

о-(з

Ф ]6

]Бзз

&Ё

('\о

э-у

5ь. 5ё

оч*^\

ч-

* о0Ё- о

п!!

ць

оЁ

о]

т|;

н@

оэ

(Ё

;Ё

о*

|у

А.ь

Б::

п:

:<!о 9

мщЁ|_

ц)

оч

он

хэ у!! у=

Фщ

йщ

Ф!д

(.)*

ха хй

(л9

<.1!

'&.^

!{ г];ч

ьъс

9н

он

х'А 9-

й'д Б

'д

о-

;й

!-:

6д

€<

.: _й

:: ;; ц) .1<-

..=

з:б

? 6

й'

ЁРЁ:

оой

455

Ф,

г-

со !о

(о

г-

г- о)

ь.ьг-

г-

г=

г-

ь.ы

о) ;-

(о'

г-

сь

-!о

ьг\

(о

ь-

со

*р

РЁтЁ;

о';

ЁЁ*

Ё3|#{

*.Ё; Ёэ{

дЁ

;ЁЁ; ;Ёэ*;:*ЁэЁ

ё;

на

эЁэ

|Ё;Ё

Ё$ЁЁ$жнЁ;Ё

ЁЁ*

ЁЁЁ

\о

а!!

8д

ФЁ

Бх

он

Ф:

6о

су

о=

\о

Ф1

сгы

<!!

.з

(.)

ц]

о.

<й

я 1ц

+!!-!!

: :< Б<5

1":

\:$

€:

#йк

€

"-д:+

3д*=*д

=с-.!

=о

€?

<.|. €= *_-Ф

'г

;Ё

Ё ;ЁБ(о

о1

.;а€=тёдт

Ёз *?т

х??т

одх+дъ

в.

_:-*'-]|-

го

€!&?т

$ 3

!!Ф*

_' _.о* _ о

Ё_(

.!.

! ч

[Ёх1

чх в

;33Бт Ёч

Р:] .

Ё*ё

Ё*

3г?Ё€1т

Ёч

3=зт

'Р!.Ё?

н:"3хтвё

д!

аЁ !! |/

ё*

*к

!_\зф

{.=

ч= ё(

2в8 3

'|.о

?бт э

1]!

!о

8;_ь

2тз !:-

,ч

!ч-

Ёй;{п:

н<{-!!

х!!

9н

=нхЁ,23

Ёд

}л;

!т;]

.5Ё

[

Ё}$Ё!}=ЁЁн'ЁЁ*}!

*!; Ё=}з;д3ЁЁ

3Ё|пЁ*

!д

^у

йЁ

Ф'

о| ух

ь!

!..

>н

ьА'

б;

у|

-Ёо

*Ё

!(<

Ф!

дй

хх

н{

пФ 9^

|!й

!х

ФЁ

.-о.

х Ф

>Ё Б3

.е2

об хы

16< -б

!х

| з

.:-5

оЁ

.!а

5" 39"

:5 !д

.!Ё

.!ф

с)

Ф сл<

[

[ЁЁ

Ёв,н

й1

;

'э

8.*" }Ё

Ф Ё

;:н

ЁЁ,

зн3 а

ЁЁР

няЁ

ЁЁ*

Ё;€

ё'ъ

в3ъ

а9-

йнЁ

Ё>х

:Ёч : Ё;

п;8

:Ё*

?Ёе

Ёёц

: Ёт Ё

$;Ё

ттн Ёят+ ЁЁ'

|Ё

(в

ох

!.!

ц'

г{

?й

.о

-9у

::оо

хуц||у

у у

}ц

'ц 'ц

.^ч

:;#ч

у,

п9€

мЁБ

оо

ё<

9ч

6ф

нн

Ё<

ь€о{

-о..

ю'-:9

{

[Ф'

;

1,\

!^!

о \/'

а*

-Б]

..ооо

!|Ф

Ё*

:л

$я

1 э 1о ь

Ёт

дт -=* { :

9я#+

Бт

д Ёт".п]

ст

?Ё#Ё

т#т^!10т

Ёя

*в

33Ё;

з*дяэ9а5

467

9ы

х<

Фо

ь9

юь

фф

*ь

ЁЁ:

нн

^.€

3Ё

Ф!

Ф._

^Ф

ц^

о<

ф=

кф

фБ

9Б

н*

459

}ц

\о

6ъ

5а

п>

б^

хо

*!|

!о

г-

г_

г-

ь-

г-

!о

г-

о)

(о

ь-

о)

ь-

о)

г-

.ч

.о

(!) х

оо

у ч>

ддд.

с)

п^

скФ

=Ф

ЁЁ

чд

Ф1 :-.

Ё\,

о_

9: Ё>

<'9

хс)

'н

э-

н;

ъо-

9ц

9з

у<

.11

Фа

зо

':д

!|Ф

ь&Ф

^!д

с]3

*з

б<

Р<

ФФ

!,,

нд

.1. Ё

.х

хЁ

п9

ьЁ

Фх

(бх

=о

@!.

Ёц

Ф^

\оЁ

оо

.Ё!

2х

зй

ой

оЁй

ё.

с{. {

у<

(,)

=с!

х<

,ф

чо

н*

.-:

цн

!о

н-

*'Ф

-(!)

2т

а'ч

х(,

=Ё*

-й

оо

*нФ

3ав

ФхФ

аЁ

о-н

(о-Ё-

!ч'ы

ё<9

=<Ё

|о

-!н

у^.

тЁБ

..]_

=з

?;в

!!Ё

б3?

:<\о

цуо

дд

я!!=

Ёня

тФн

]е?"

-+€

г 2е-,,;

}ъ

]]_€

1-Ёь

_9ь€ !!

+€

Ёё

?';*

.^б

! 1::Ёч

{н

Ё*Ё

{

*]вк

. х

:ч

фооц]

,.Ёё

9сФ

Ёу н;!:д

!ч

;-!о-

Ёхч

5о

я;

-т*

,в

Ётт ЁЁ1 нх

ннё;

Ёт

г{

{

|{\!,

ц)

[

{

€э

о!

.*(!

цп'

Ёв

о-|\

Ён

оо

^.с,

2а

=Р

ч)_

!ч

фсо

!ь

1о,

зк€

5ьо

!ц

Ач

!з

Ё<

<Б

ц!!

Ёо

ЁЁ

о\з

о^

<ыо

_-^

Ё]

<д

-0\

Ёп:

-ь

|:х

цЁ

г\)

*-о

3:Ё

2нР

! х-

Ё5|

Ё!!_ э]

Ёв€

(-)-Ё

|у

-!а

Ёы€*:

о€

-Р

[о

(о

.1...

юо. н!с |!

с.:

Ё;

ш!

*в

;

Ф ..{! -

\з!,

{;

;

ць !

..9)

|о

;

5.п тзЁ

!!.1з

!о

о&

до-

по

!д

со

ч;

\о