Б
завиоим,о'сти
от
ре>к|има
истечения
пара
насось!
м,ох(но
раздел'ить
на
э)кект0рньте,
6устерньте и
лиффу_
зион'нь|е.
Аля
масля,ньтх
насос0в ис1п0ль'3уют ма,сла
вм-1,
вм-2, Б}1-3
или
кремний'органические ма,сла |1Ф}1€-1 и
пФмс-2.
Аля
предотвращения
попадания паров масла в
откач|иваемьтй
объем
|над
на,со,со'м
уста'навливают
вь1п,1о-
рах<|ивающую
лову1п|ку.
Б небольштих
на,сосах применяют
ртуть.
|1реимушест-
во
ртути
со1стотит
в
том' ч'то на,сось!
|моцт
работать
при
выооко'м
п!родва'рительном
давлении.
|(роме того,
!ртуть
не
в3аимодействует
с
откачиваемь1м
газом.
}пругость
паров
ртути
,вь1сокая (-0,
1
||а),
поэтому
для
до1сти}ке-
['|19| Ё[3(Ф|о
да1вления
порядка 10_а
|1а
'необходимФ
пр,ц_
менять вьт'мора)кивающие или
охла)кдающие
ло1ву1шки.
Бесьма
}ло,бньт
для
кон'струи|ро'ван,ия в2;к}}м'}1ьт€
:|1,0[1Б|,
в
с'остав
которь1х !вхо'дят
форвакуум'ньтй
и
щиффузиошньтй
Ё&,€Ф€Б|; {вакуумнь1й
3атвор'
.ва'куумметрьт.
Ёа базе
такого
п,0ста мо)кет'бьтть
созда|на экспери'ментальная
вакуум-
ная
уста|н'ов|ка.
А0сорбцшонные
насось[
3то
насо'сьт
безмаслян,ой
откачки.
14х иополь3уют
для
откачки
объемов
до давлений
1-10_2 |[а.
Ёасос
пред-
ста1вляет
,собой
емкость'
!в
'котор'ую ,помещен
цеолит
(мо_
лекулярное
сито). |1ри
охлах<щон1ии
до
темшературь1
)кид_
кого
азота
цеолит
поглощает
Фэ, ]'{э,
(Ф2
тт
другие
га3ь|.
Ёе
поглощаются
инертньте
га3ьт'
водорол. не!ёз
опреде-
ленное :Б!€й[
адсор6ент
на,сь|щается
откач'иваемым
газом.
.(,ля
регенераци|и
на,соса
его
подогревают
до
комнатной
температурьт.
Ранее
поглощен'нь|е
газь|
десор-
0ируются'и
вь]деляются
в
атмо'сферу. |[ри
отка,н'ке водя_
ц9ц цар,ов
ре1гене{рацию'на|соса'следует
проивводить
п|р,и
550"с.
,(ля
полу,|ения
ни3ких
давлен,ий
'рекомендуется
предвзритольная
откачка
о,6ъема
форва,куум|}{ы!м
насо-
сом.
|[реимуществ'о
этих насос0в
состоит в то'м,
что
загрязненность
откачи!ваем'ого
'объема о,рга|нически,ми
к0мпонентами
мас/|а
о'тсутствует.
[еттерньсе
насось|
|1'ринцип
действия
этих нас0'сов
основан
на
испарении
титана
и
его ионизации.
Ёа
охла>кдаемь|х
стенках насо_
са
9,б'рд:3у9тся
по,рист88 :|[./[0Б;(3
с
,вы'еокими
сор,бционны_
66
м]и
1свойствам:и.
|[оглощение га3а шроисх,0дит на обнов-
ляемой
т||Ф'в€!х;}!Ф€1и пленки благодаря
физ'инеской
адоорбции,
хемосор'бци'и'
хим'ическим
реакциям'и
раство-
рен1ию'в
твердой
фазе.
|}огиощаются
в'се
га3ьт'
3а и'оклю-
чением и]нертнь!х и
углеводо,родов.
||+реимушество
этих насо1сов состоит в
том' что они
не 3а1гря13няю'т
объема,
не тробуют
дову1пек.
Ёасос мо-
;кет бьтть п'рисоединен к о'тка|чиваемо'му
о'бъекту
без веп-
тиля. Бь:строта
действия
насоса гин-05м1 мощностью
0,85 кБт составляет 400
л/с
п,ри
давлениях
от
5.10_5до
5.1ь3
||а.
14спарение
т|ттана
происходит
с поверхности
моли'бденов'ого
нагревателя' ша которь1й нанесен слой
]{0дид1{о]го
титана толщ,игтой 0'5
мм. Фбщий
за'па,с тита-
на
на
двух
испарителях
составляет 7
г. Более крупнь1е
на|сось| гин-4
и
[14Ё-5
,имеют
окорости
откач1ки
соот-
,ветственно
до
1800
и 5000 л/с
при
давлении
10_7 |1а
(на-
чальное
давление
0, 1 |1а). |1р*и'иоп,ользован|ии геттернь1х
на|со'сов
х(елательно
обетопеч:ивать
безма(сля!ную пре/два-
рителыную
откачку
объема
1с
по|м,ощью
адсорбцио'нньтх
или
па'роструйных
|на]со'сов
с эффектив1нь1ми л0ву1п,т{ами.
А4аенштньсе
электрора3ря0ньое насось!
Р
этих
!наоо1сах'
являющихся геттерно-ио|ннь|'ми'
для
рас_
пь|ления
'и
{ио'ни,3ащии
геттора
,иопо{ль'зуют
газовый
'раз_
РяА
в
магнитном поле. 6хема
простейтшего
ди'одного
ма'пнито'ра3рядно|го
|на|соса
'пока3а1на
на
рис.
33. Анод /
Рис.
33'
6хема
дт|одного
магниторазрядного
насоса
4
с источником
питания:
->
1_анод1 2_к^тоА;
3-
6ал||сБое
сойро?йвлег!ие;
+
4
_
направле[{ие
маг!!итного
-+
поля
наоо|са
,0бра3о{ван
]на|бор0м
9{т!€€;(
,и3
нер}ка]ве|ощей
стали,
с
от)крыть|х
концо,в
которь|х
ра|0полох(ень1
общие катвды
2
из
тита11{а.
3та
ситстема
по,мещаетюя
в
,ма1гнитное
поле'
перпе}!'ди|кулярн,ое
к
пло0кости
катода.
|1ри подате
на
элекцродь|
п!83ЁФ'€1й,потвнциалов
в'не0колько
киловольт
в
ячей!ках,Бовн'икает
газовьтй
ра3р'щ''поддер}кивающий-
3. 3ак. 664
67