- Москва, - ГОУ ВПО «МАТИ», - 2005, – 133 стр. Диссертация на
соискание ученой степени кандидата технических наук. Специальность:
05.27.06 – Технология и оборудование для производства
полупроводников, материалов и приборов электронной техники. (На
правах рукописи). Научный руководитель: доктор технических наук,
профессор Слепцов В.В.
Аннотация.
Целью диссертации является разработка технологии оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок для производства гибких печатных плат на основе политетрафторэтилена без применения полимерного адгезионного подслоя.
Содержание.
Анализ методов и оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок.
Физическая модель формирования высоко-адгезионного слоя металла к поверхности
полимера.
Разработка конструкции экспериментального оборудования и проверка физической модели.
Разработка образца промышленной установки и технологии вакуумной металлизации
полимерных пленок для производства гибких печатных плат.
Аннотация.
Целью диссертации является разработка технологии оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок для производства гибких печатных плат на основе политетрафторэтилена без применения полимерного адгезионного подслоя.
Содержание.
Анализ методов и оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок.
Физическая модель формирования высоко-адгезионного слоя металла к поверхности
полимера.
Разработка конструкции экспериментального оборудования и проверка физической модели.
Разработка образца промышленной установки и технологии вакуумной металлизации
полимерных пленок для производства гибких печатных плат.