Введение; Анализ структуры; Анализ маршрутных технологических
процессов производства типовых ИМС; Разработка структурной схемы
технологического процесса; Анализ методов производства; Анализ
оборудования для производства структуры; Анализ методов контроля и
условий производства; Разработка технологической документации на
маршрут структуры; Разработка технологического процесса на
операционный процесс; Охрана труда и окружающей среды; Заключение;
Литература; Нормативная документация; МГПК, специальность
Микроэлектроника.