В 2-х кн. Кн.
2. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи - М.: Мир, 1986 г. , 453 стр.
В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП и КМОП технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС.
Для студентов старших курсов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
2. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи - М.: Мир, 1986 г. , 453 стр.
В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП и КМОП технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС.
Для студентов старших курсов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.