Айнспрук Н. Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС

формат pdf
размер 68.06 МБ
добавлен 09 января 2012 г.

Монография, Москва, МИР, 1987, 471 с.
Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.
Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов.
Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей.

В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений. Достаточно подробно рассмотрены вопросы химического и плазмохимического осаждения тонких диэлектрических пленок, в том числе нитрида и оксида кремния. Описаны физические и химические процессы реактивного и ионного травления, особое внимание уделено технологическим аспектам процессов производства СБИС.

Похожие разделы

Смотрите также

Айнспрука Н. (ред.) (пер с англ.). Электроника СБИС. Проектирование микроструктур

формат djvu
размер 3.33 МБ
добавлен 05 декабря 2011 г.

Авторы: Ганнетт Дж., Домич А., Катевенис М., Паттерсон Д., Пшибилски С, Секуин К., Фос-тер М., Хеннесси Дж., Шербурн Р. : Пер. с англ./Под ред. Н.Айнспрука. — М.: Мир, 1989.— 256 с, ил. ISBN 5-03-000477-7 В коллективной монографии американских ученых рассматриваются архитектурные особенности СБИС-микропроцессоров, в частности таких высокоэффективных устройств, как микроЭВМ с сокращенными наборами команд (RISC). Значительное внимание уделяется мет...

Киносита К., Асада К., Карацу О. Логическое проектирование СБИС

формат djvu
размер 6.16 МБ
добавлен 04 сентября 2011 г.

Пер. с япон.— М.: Мир, 1988.—309 с, ил. Книга является переводом четвертого тома 11-томной серии по микроэлектронике, написанной крупными японскими специалистами. Посвящена новейшим методам автоматизированного проектирования БИС и СБИС, позволяющим получать наилучшие технические характеристики. Основное внимание уделяется математической теории логического проектирования, проблемам упрощения логических функций и языкам описания, которые используют...

Компьютеры на СБИС: в 2-х кн., кн. 1. (Пер. с япон.)

формат djv
размер 3.74 МБ
добавлен 23 июля 2010 г.

Мотоока Т., Хорикоси X., Сакаути М. и др. - M.: Мир, 1988. - 392 с. Книга является переводом восьмого тона 11-тонной серии по микроэлектронике, написанной японскими специалистами. Посвящена вопросам проектирования компьютеров па основе наиболее перспективных СБИС. Значительное внимание уделено структурным решениям построения процессоров, запоминающих устройств, систем ввода-вывода данных. Даны рекомендации по использованию для этих целей систем...

Компьютеры на СБИС: в 2-х кн., кн. 2. (Пер. с япон.)

формат djv
размер 3.59 МБ
добавлен 23 июля 2010 г.

Мотоока Т., Хорикоси X., Сакаути М. и др. - М.: Мир, 1988. - 336 с. Книга является переводом девятого тома 11-томной серии по микроэлектронике, написанной японскими специалистами. Посвящена вопросам проектирования ЭВМ специального назначения на основе БИС и СБИС. Рассмотрены методы параллельной обработки цифровых данных, а также символьной и графической информации. Описаны способы построения баз данных и аппаратные средства управления операциями...

Могэб К., Фрейзер д., Фичтнер У., Паррильо Л., Маркус Р., Стейдел К., Бертрем У. Технология СБИС (книга 2)

формат djvu
размер 5.5 МБ
добавлен 02 октября 2009 г.

В 2-х кн. Кн. 2. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи - М.: Мир, 1986 г. , 453 стр. В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология...

Расчет и проектирование СБИС. Лекции

формат pdf
размер 4.76 МБ
добавлен 31 октября 2009 г.

Конспект лекций по дисциплине «Расчет и проектирование СБИС» для высших учебных заведений по специальности «Микро- и наноэлектронные технологии и системы». Содержание. Терминология СБИС. Технико-экономический анализ. Проектирование биполярных СБИС. Проектирование МДП СБИС. Архитектура СБИС. Запоминающие устройства. Проектирование СБИС.

Ульман Дж. Вычислительные аспекты СБИС

формат djvu
размер 7.06 МБ
добавлен 31 января 2012 г.

Пер. с англ.: П.П.Пархоменко. - М.: Радио и связь, 1990. - 480 с. ISBN 5-256-00253-8. В книге американского ученого на основе последних достижений в области теории алгоритмов и методов проектирования СБИС анализируется связь структуры разрабатываемых СБИС и реализуемых в них алгоритмов. Проводится теоретический анализ сложности решения различных вычислительных задач в СБИС. Описываются как методы разработки алгоритмов, удобных для реализации в ви...

Wolf S. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 3. The Submicron MOSFET

формат pdf
размер 36.58 МБ
добавлен 02 февраля 2011 г.

Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1995. - 744 pp. (на англ яз. ) Книга представляет собой 3-й том известной серии из 4 книг, посвященной технологии СБИС. Настоящий том посвящен рассмотрению важнейшей для технологии современных СБИС области - МДП-транзисторам с субмикронной длиной канала. В книге рассматривается многосторонняя взаимосвязь физики, конструкции и технологии субмикронных транзисторных структур. Значительное внимание уделяется рассмотре...

Wolf S. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol.2. Process Integration

формат pdf
размер 44.19 МБ
добавлен 30 января 2011 г.

Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1990. - 785 p. (на англ яз. ). Книга известного американского специалиста проф. Стэнли Волфа является вторым томом широко известной серии из 4-х книг, охватывающей практически все аспекты технологии СБИС. Несмотря на то, что этот том написан в 1990 г., во многом книга не потеряла своей ценности и в настоящее время, в частности, из-за полноты охвата темы, а также ясного и точного стиля изложения. Книга посвящена во...

Wolf S., Tauber R.N. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 1. Process Technology

формат pdf
размер 37.7 МБ
добавлен 01 февраля 2011 г.

Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1986. - 684 pp. (на англ яз. ). Книга представляет собой первый том широко известной серии из 4-х книг, охватывающей практически все вопросы технологии СБИС. Несмотря на то, что книга написана в 1986 г., во многом она не потеряла своей ценности и в настоящее время. В книге удачно воплощено стремление осветить все аспекты технологии СБИС с единой точки зрения, при этом весь материал книги отличается высоким уровнем...