Лекции - Технология микроэлектронной промышленности

Изложены основные принципы аппаратурного использования интегральных схем. Рассмотрены приемы разработки типовых субсистем – структурной основы современной цифровой микроэлектронной аппаратуры.

М.: Техносфера, 2004, 528 с. В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной конструкции и указаны способы их оптимизации. Целая глава посвящена такой важной теме, как монт...

В учебном пособии изложены основы теории упругих объемных и поверхностных волн (УОВ, УПВ) в твердом теле, принципы построения и расчета приборов с использованием УОВ и УПВ, описаны свойства материалов акустоэлектроники и наиболее характерные устройства на их основе, а также технология акустоэлектронных узлов и аппаратуры. Намечены пути их совершенствования и развития. Пособие предназначено студентам, специализирующимся в области радиофизики, элек...

Интегральная электроника на сегодняшний день является одной из наиболее бурно развивающихся отраслей современной промышленности. Одной из составных частей данной науки является схемотехническая микроэлектроника. На каждом новом этапе развития технологии производства интегральных микросхем (ИМС) создаются принципиально новые методы изготовления структур ИМС, отражающие последние достижения науки

Рассматриваются базовых принципов функционирования и конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)

Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...

Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с. В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией. Для студентов специальностей 210108 Микросистемная техника, 210202 Проектирование и технология электронно-вычисли...

Микро-электромеханическая система. Содержание. Принцип действия и области применения. Базовые понятия. Датчики и микроактюаторы. Самый маленький датчик. Нанодатчики в космосе. «Электромеханика» в телекоммуникациях. Конструктивные особенности и основные характеристики. Технология MEMS. MEMS – дисплей. MEMS – источники питания для портативных устройств. Схемы включения. DMD для DLP. Электромеханическая память. Литература. Приложение А. Системы на о...

МГУПИ, Россия, Рыжиков И.В., 2012 г., 113 стр. История развития микро-электронных устройств. Диэлектрические пленки. Диффузия. Методы эпитаксии. Фотолитографический процесс. Физико-химические основы процесса ионного легирования. Плазмо-химическое травление и технология ИМС.

Изд-во НГТУ, 2001. — 176 с. В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирования измерительных сигналов в датчиках. Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых датчиков. Даны сведения о биологических датчиках. Рассмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков. Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматик...