Лысенко И.Е. Лекции и практические задания по курсу Микроэлектромеханика

Содержание: Назначение и принципы формирования импульсов с нано- и пикосекундным фронтами. Схемотехника формирователей с применением Ддрв,Дзлп и насыщающихся индуктивностей. Исследование промышленных диодов в качестве Ддрв иДзлп. Приёмы для повышения качественных параметров импульсов. Широкополосные делители тока и напряжения как измерительные элементы формирователей. Примеры конкретных схем формирователей. Заключение. Институт ядерной физики Со...

Таганрог, ТГТУ, 2009, 120 стр. В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые дисциплины «Компоненты микросистемной техники»: элементы и компоненты микросистем (MEMS. MEOMS), базовых физических принципах их функционирования, характеристиках, конструкциях и особенностях применения. Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.

Подготовка подложек. Эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Окисление. Диффузия. Ионная имплантация. Литография. Травление. Металлизация. Технологии изготовления СБИС. Методы сборки и герметизации. Методы контроля и диагностики

В учебном пособии рассмотрены сенсорные и актюаторные элементы и средства их проектирования. Детально разобраны технологии изготовления, конструкции и принципы функционирования. Также детально описаны лаборатории-на-кристалле, их принципы работы и применения. Таганрогский технологический институт. Для технических специальностей.

Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...

Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с. В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией. Для студентов специальностей 210108 Микросистемная техника, 210202 Проектирование и технология электронно-вычисли...

2004 г. Таганрог, ТРТУ. В учебном пособии рассмотрено использование электрического поля в компонентах микросистемной техники (МСТ). Первый раздел пособия содержит краткое изложение традиционных сведений об основных закономерностях электрического поля. Во втором разделе излагаются вопросы механики, описывающие поведения компонентов МСТ, находящихся в силовом поле под нагрузкой. В третьем разделе описаны принципы создания актюаторных компонентов, и...

МГУПИ, Россия, Рыжиков И.В., 2012 г., 113 стр. История развития микро-электронных устройств. Диэлектрические пленки. Диффузия. Методы эпитаксии. Фотолитографический процесс. Физико-химические основы процесса ионного легирования. Плазмо-химическое травление и технология ИМС.