Лекции:
Лекция
1. "Введение. Основные понятия и термины. "
Лекция
2. "Параметры и характеристики микросистем. "
Лекция
3. "Чувствительные элементы для микросистем. "
Лекция
4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
1. Пьезоэлектрические датчики. "
Лекция
5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
2. "
Лекция
6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
3. "
Лекция
7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
4. "
Лекция
8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "
Лекция
9. "Интегральные микрозеркала. "
Лекция
10. "Интегральные микродвигатели. "
Лекция
11. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
1. "
Лекция
12. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
2. "
Лекция
13. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
3. "
Лекция
14. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
4. "
Лабораторные занятия
1. Изучение технологических норм изготовления компонентов микросистемной техники.
2. Проектирование двухэлектродного электростатического актюатора.
3. Проектирование гребенчатого электростатического актюатора.
Также есть оригинальные интерпретации принципы работы камертонного микромеханического гироскопа, двухосного камертонного микромеханического гироскопа, карданнового микромеханического гироскопа и микронасосов. (Для просмотра нужен flash player)
Лекция
1. "Введение. Основные понятия и термины. "
Лекция
2. "Параметры и характеристики микросистем. "
Лекция
3. "Чувствительные элементы для микросистем. "
Лекция
4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
1. Пьезоэлектрические датчики. "
Лекция
5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
2. "
Лекция
6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
3. "
Лекция
7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть
4. "
Лекция
8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "
Лекция
9. "Интегральные микрозеркала. "
Лекция
10. "Интегральные микродвигатели. "
Лекция
11. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
1. "
Лекция
12. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
2. "
Лекция
13. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
3. "
Лекция
14. "Катушки индуктивности в микросистемах. Часть
4. "
Лабораторные занятия
1. Изучение технологических норм изготовления компонентов микросистемной техники.
2. Проектирование двухэлектродного электростатического актюатора.
3. Проектирование гребенчатого электростатического актюатора.
Также есть оригинальные интерпретации принципы работы камертонного микромеханического гироскопа, двухосного камертонного микромеханического гироскопа, карданнового микромеханического гироскопа и микронасосов. (Для просмотра нужен flash player)