2004 г. Таганрог, ТРТУ. В учебном пособии рассмотрено использование
электрического поля в компонентах микросистемной техники (МСТ).
Первый раздел пособия содержит краткое изложение традиционных
сведений об основных закономерностях электрического поля. Во втором
разделе излагаются вопросы механики, описывающие поведения
компонентов МСТ, находящихся в силовом поле под нагрузкой. В
третьем разделе описаны принципы создания актюаторных компонентов,
использующих электрическое поле. В последнем разделе излагаются
основы использования электрической емкости для съема информации с
микросистемных сенсоров, т. е. вопросы создания датчиков
перемещения.