Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники

Таганрог, ТГТУ, 2009, 120 стр. В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые дисциплины «Компоненты микросистемной техники»: элементы и компоненты микросистем (MEMS. MEOMS), базовых физических принципах их функционирования, характеристиках, конструкциях и особенностях применения. Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.

Красноярск, Сибирский Федеральный Университет,2007 г. (210 стр. ). 1. Сенсоры и микроактюаторы. Лекция 1 Введение. Лекция 2 Сенсоры. Лекция 3 Сенсоры (продолжение). Лекция 4 Сенсоры (окончание). Лекция 5 Актюаторы. Лекция 6 Актюаторы (продолжение). Лекция 7 Актюаторы (окончание). 2. Микромеханизмы и миниатюрные управляемые электронные и оптические компоненты. Лекция 8 Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Лекция 9 Управляемые оптоэлектромехани...

Учебное пособие / А. А. Левицкий. - Красноярск: СФУ, 2007 – 85 с. Представлен лабораторный практикум по дисциплине «Компоненты микросистемной техники». Приведено краткие теоретические сведения. Даны указания к выполнению лаборатор-ных работ. Рекомендуется студентам, изучающим вопросы проектирования компонентов микро-системной техники.

Рассматриваются базовых принципов функционирования и конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)

Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...

Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с. В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией. Для студентов специальностей 210108 Микросистемная техника, 210202 Проектирование и технология электронно-вычисли...

2004 г. Таганрог, ТРТУ. В учебном пособии рассмотрено использование электрического поля в компонентах микросистемной техники (МСТ). Первый раздел пособия содержит краткое изложение традиционных сведений об основных закономерностях электрического поля. Во втором разделе излагаются вопросы механики, описывающие поведения компонентов МСТ, находящихся в силовом поле под нагрузкой. В третьем разделе описаны принципы создания актюаторных компонентов, и...

Наглядное пособие. - Красноярск: Сибирский Федеральный Университет,2007. - 261 слайд. Введение. Сенсоры. Актюаторы. Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Управляемые оптоэлектромеханические микрокомпоненты. Микроустройства обработки, хранения и записи информации. Микромеханизмы. Микросистемы для генерации и преобразования энергии и движения. Микросистемы хранения и рекуперации энергии. Интеллектуальные и мультисенсорные системы. Миниатюрные а...

Москва: Техносфера, 2006. – 632 с. В книге приведены конструкции и методы расчета пьезокерамических преобразователей для измерения различных физических величин. Книга предназначена для научных работников, студентов, специалистов в области разработки приборов, элементов и устройств вычислительной техники и систем управления.

Таганрог, ТГРТУ (ЮФУ), 2007 г. , 125 стр. Учебное пособие. Рассмотрена общая классификация датчиков и теория измерений, основные схемы включения датчиков и их расчёт, физические основы микросистемной техники и полупроводниковых приборов, тензорезистивные сенсоры, пьезоэлектрические сенсоры, термоэлектрические сенсоры, датчики ускорения, вибрации, потока, гироскопы, магнитные сенсоры, датчики расхода и микронасосы, комбинированные сенсоры и т. д.