Круглик И.В., Левицкий А.А., Левицкая З.В. Компоненты Микросистемной Техники

Красноярск, Сибирский Федеральный Университет,2007 г. (210 стр. ).
1. Сенсоры и микроактюаторы.
Лекция 1 Введение.
Лекция 2 Сенсоры.
Лекция 3 Сенсоры (продолжение).
Лекция 4 Сенсоры (окончание).
Лекция 5 Актюаторы.
Лекция 6 Актюаторы (продолжение).
Лекция 7 Актюаторы (окончание).
2. Микромеханизмы и миниатюрные управляемые электронные и оптические компоненты.
Лекция 8 Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты.
Лекция 9 Управляемые оптоэлектромеханические микрокомпоненты.
Лекция 10 Микроустройства обработки, хранения и записи информации.
Микромеханизмы.
Лекция 11 Микросистемы для генерации и преобразования.
энергии и движения.
Лекция 12 Микросистемы для генерации и преобразования.
энергии и движения (окончание).
Микросистемы хранения и рекуперации энергии.
3. Миниатюрные аналитические, технологические и робототехнические системы.
Лекция 13 Интеллектуальные и мультисенсорные системы.
Миниатюрные аналитические приборы.
Лекция 14 Миниатюрные медико-биологические приборы.
Лекция 15 Компоненты технологических микросистем.
Лекция 16 Микро- и нано- инструмент,
Кластерные технологические микросистемы.
Лекция 17 Миниатюрные робототехнические системы.
Заключение.
Библиографический список.
Основные сокращения.