Интегральная электроника на сегодняшний день является одной из
наиболее бурно развивающихся отраслей современной промышленности.
Одной из составных частей данной науки является схемотехническая
микроэлектроника. На каждом новом этапе развития технологии
производства интегральных микросхем (ИМС) создаются принципиально
новые методы изготовления структур ИМС, отражающие последние
достижения науки