Алексеенко А.Г. Элементы морфологии микроэлектронной структуры

Содержание: Назначение и принципы формирования импульсов с нано- и пикосекундным фронтами. Схемотехника формирователей с применением Ддрв,Дзлп и насыщающихся индуктивностей. Исследование промышленных диодов в качестве Ддрв иДзлп. Приёмы для повышения качественных параметров импульсов. Широкополосные делители тока и напряжения как измерительные элементы формирователей. Примеры конкретных схем формирователей. Заключение. Институт ядерной физики Со...

Таганрог, ТГТУ, 2009, 120 стр. В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые дисциплины «Компоненты микросистемной техники»: элементы и компоненты микросистем (MEMS. MEOMS), базовых физических принципах их функционирования, характеристиках, конструкциях и особенностях применения. Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.

Подготовка подложек. Эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Окисление. Диффузия. Ионная имплантация. Литография. Травление. Металлизация. Технологии изготовления СБИС. Методы сборки и герметизации. Методы контроля и диагностики

В учебном пособии рассмотрены сенсорные и актюаторные элементы и средства их проектирования. Детально разобраны технологии изготовления, конструкции и принципы функционирования. Также детально описаны лаборатории-на-кристалле, их принципы работы и применения. Таганрогский технологический институт. Для технических специальностей.

Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...

М., Советское радио, 1980 г., 265 стр. Рассмотрены функциональные элементы и устройства на поверхностных акустических волнах для радиотехнических применении. Конспективно изложены физические основы возбуждения и распростраиения поверхностных акустических волн (ПАВ) в твердом теле. Приведена функциональная классификация, в рамках которой рассмотрены характерные конструкции ПАВ элементов и устройств различного назначения. Основное внимание уделено...

Изд-во НГТУ, 2001. — 176 с. В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирования измерительных сигналов в датчиках. Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых датчиков. Даны сведения о биологических датчиках. Рассмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков. Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматик...