Микро-электромеханическая система. Содержание.
Принцип действия и области применения.
Базовые понятия.
Датчики и микроактюаторы.
Самый маленький датчик.
Нанодатчики в космосе.
«Электромеханика» в телекоммуникациях.
Конструктивные особенности и основные характеристики.
Технология MEMS.
MEMS – дисплей.
MEMS – источники питания для портативных устройств.
Схемы включения.
DMD для DLP.
Электромеханическая память.
Литература.
Приложение А. Системы на основе МЭМС. Зарубежные представители.
Приложение Б. Системы на основе МЭМС. Отечественные представители.
Оформление по ГОСТу!
Принцип действия и области применения.
Базовые понятия.
Датчики и микроактюаторы.
Самый маленький датчик.
Нанодатчики в космосе.
«Электромеханика» в телекоммуникациях.
Конструктивные особенности и основные характеристики.
Технология MEMS.
MEMS – дисплей.
MEMS – источники питания для портативных устройств.
Схемы включения.
DMD для DLP.
Электромеханическая память.
Литература.
Приложение А. Системы на основе МЭМС. Зарубежные представители.
Приложение Б. Системы на основе МЭМС. Отечественные представители.
Оформление по ГОСТу!