Реферат - Тонкопленочные конденсаторы и индуктивности

М.: Техносфера, 2004, 528 с. В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной конструкции и указаны способы их оптимизации. Целая глава посвящена такой важной теме, как монт...

Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...

MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems). Базовые понятия. Микроактюатор.DMD для DLPЭлектромеханическая память. Электромеханика в телекоммуникациях. Перспективы MEMS – дисплеев. MEMS - источники питания для портативных устройств. MEMS – матрицы. Датчики. Датчики для измерения параметров движения на основе MEMS-технологии. Современный рынок MEMS. MEMS технологии в России. Перспективные проекты.

Содержание. Полупроводник. Собственная проводимость. Электронные полупроводники (n-типа). Дырочные полупроводники (р-типа). Легирование. Значение легирования. Легирование полупроводников. Донорная примесь. Акцепторная примесь. Амфотерные примеси. Изовалентные примеси. Радиационное легирование. Нетрадиционные химические примеси. p-n-переход. Методы введения примесей. Итог. Литература. НТУУ"КПИ" ПСФ 2 курс.

Микро-электромеханическая система. Содержание. Принцип действия и области применения. Базовые понятия. Датчики и микроактюаторы. Самый маленький датчик. Нанодатчики в космосе. «Электромеханика» в телекоммуникациях. Конструктивные особенности и основные характеристики. Технология MEMS. MEMS – дисплей. MEMS – источники питания для портативных устройств. Схемы включения. DMD для DLP. Электромеханическая память. Литература. Приложение А. Системы на о...

Содержание включает: Общая характеристика гироскопов. Понятие «гироскоп». Основные понятия. История. Классификация. Применение. Механические гироскопы. Свойства двухосного роторного гироскопа. Микромеханический гироскоп. Актуальность темы. Принцип действия. Конструктивные схемы ММГ. Погрешности ММГ. Проблемы конструирования ММГ. Новые типы гироскопов. Использование гироскопа в смартфонах и игровых приставках. Примеры. Литература Для НТУУ"КПИ" П...