глАвА
стРоЁниБ
силициРовАннь!х
слоЁв
нА
стАлях
ААеханизм
и кинетика
ди+*узи|с
при
о6разовании
силициРованного-
слоя
Результать:
.''11-1г9"'
н|4я
стал\-1,
(скорость
процесса'
стро-
е^ние
слоя'
концентрация
кремния
в
покрьттии
"
{р.)
''р.де'''_
ются
в
перву}о
очередь
9леА}ющими
факторами:
--_
дви)кущей силой
лиффуз-ии
кремния
в ёталь
и
Аиффузион_
ного
перераспределения
легирующих
элементов
при
силициро_
вании;
последовательностью
этапов
пРоцесса
лиффузионного
на-
сьтщения
и
соотнотшением
скоростей.
их
прохо}кдения;
механи3мом
лиффузии кремния
Ё
слос!
и
подслоййой
зоне;
_ _
характероц
зависимости
концентрации
кремния
в
слое
от
расстояния
от
поверхности
металла
и'влия\1иём
условий
насьт_
щения
на эту
зависимость;
свя3ью..ме}кду
механи3мом
диффузионного
нась1щения
и
структурой
получаемого
слоя.
-|1рех<де
всего
необходимо
от'метить'
что
д.ви}кущей силой
лиффузии вообще,
и при
химико_"ер*',"сйЁй
6о]18'"*"
"
частности'
является
не
градиент
концентрации
диффундирую_
щего
компонента'
а градиент
его
химического
потенциала.
т.
е.
парциальной
свободно'й
энергии
[237].
Ёапример,'
йБй_Ёй.!"ц'_
ровании
оттеснение
углерода
из
растущего
слоя
про,исходит
в
направлении
от
малоуглеродистых
объемов
к вь:сокоуглероди-
сть1м'
т.
е.
перемещение
углерода
идет
в направлении
пойих<е-
ния
его
термодинамической
активности.
||рининой
по",'й""'"
термодинамической-
активности,
вьтзь:ваБщей
,о-*'д"щу'
лиф.фузию,
мо>л(ет
бьтть
не
''',.о
"'','""
третьего
компоне!{-
1а
(кремния
в сплаве
Ре-€),
"'
й
!е*..р|турный
фййй."'.
1аким
образом,
в и3вестньтг
диффузйоннйх !аконах'Фиц'
с
б
бл ьгш
и
м
п
р
а во
м
дол
;кньт-бьт
лп'
б[[
ф;;йй;;"
;;
;;;;;^-.;р,
-
ции'
а
парциальнь1е
свободнь:е
эг|ерЁии,
в
первоначальцом
виде
законьт
Фика
применимы
ли.пь
для
двухкомпонентнь|х
систем.
164
Фпределение
этапа
химико-термической
обработки,
проте-
кающего
с
наимень1пей
скоростью,
имеет больтпое
(если
не
определяющее). знанеЁие
при
разработке
путей
ускорения
про-
цесса'
а
зачастую
и
улуч1пения
качества защитного покрь1тия.
Ф
роли
ра3личнь1х
этапов
получения
лиффузионного
слоя мо';к-
но
судить по
виду
графияеской
зависимости
распределения
концентрации
нась1щающего
элемента по глубине
лиффузион_
ного
слоя'
а
так)ке
по
результатам
некоторь|х прямь|х
экспери_
ментов.
Ба>кная
роль
в скорости
процесса насьтщения
принад-
ле}кит
мощности
диффузионного
источника.
Авто'ры
|292]
указь1вают'
что в
больгпинстве
работ,
рассматривающих
влия-
ние
ра3личньтх факторов
на скорость
диффу3ионного
нась1ще_
1{ия' принимается
3а аксиому
бесконечно больтпая 1\{Ф]{!Ф€1!:
лиффузионного
источника: считается' что приток нась1щающе_
го
элемента
и3 активной средьт
(особенно
в случае'
если она
газообразна)
бесконенно
бьтстр
в сравнении
со скоростью ог_
вода элемента
в глубь металла
лиффузионнь1м
путем] Б
связи
с этим
в
работе
[293]
справедливо отмечается'
что
довести
концентрацию нась1щающего элемента на по'верхно'сти
раздела
среда
-
металл
до
100о/0
(и
тем
более по,стоянно поддер)к}1-
вать ее
на
этом
уровне)
невозмо)кно,у)ке потому'
что
конце(|-
трация
действительно
активного
(в
состоянии
<<в
мо'мент полу_
нения>>) элемента намного ни)ке
его полной,
<<аналитически)>
устанавливаемой
концентрации.
Бсли )ке
еще
и процесс
диффузионного
отвода в
глубь
металла'протекает столь
бьтстро, что о,ка3ь]вает влияние
1{а
концентрацию элемента на поверхности
ра3дела' умень1пая
ее'
для
больтпинства практически ва}кнь|х
случаев необходимс:
.считать'
что количество вещества' протекающего чере3'
границу
ра3дела
в
единицу времени' обратно
пропорционально
ра3нос-
ти ме)кду
предельно
дости)кимой
на
данной
поверхности кон-
центрацией
и
фактинеской
ее
величиной. йсходя
и3 этого,
ав-
торьт
[293] рассматривают
три
возмо}кных варианта
распре_
деления
нась|щающего
элемента
по
глубине
слоя:
а)
мощность
источника существенно превь|1пает во3мо}кно-
сти
диффу3ионного
отвода; в этом
случае происходит накоп-
ление
лиффунлирующего
элемента
в
слое'
а
распределение
его
концентрац|1и
по
глубине
слоя опись1вается кривой
с пере-
гибом;
б) имеет место
равновесие
в!;етшнего
и
внутреннего
диффу_
зиокнь1х потоков;
распределение
концентрации
опись|вается
прямой
линией;
в)
возмо>кности
лиффузионного
отвода
превосходят мощ_
но,сть
источника'
при этом концентрация нась|щаемого
элемен_
та
на
поверхност|{
металла остается постоянной
(сних<ения
ее,
как
правило,
не происходит)'
а изменение концентрации
по
глубине
опись]вается
во,гнуто'й параболой.
165