М.: издательство МФТИ, 2003.- 40 с.
Данная лабораторная работа направлена на ознакомление студентов с физическими принципами функционирования растрового электронного микроскопа (РЭМ) и основными методиками измерения.
Экспериментальная часть работы заключается в изучении растрового электронного микроскопа Jeol JSM-840, в том числе:
? получение изображения образца в различных режимах работы микроскопа:
в режиме сбора истинно вторичных электронов (SEI),
в режиме сбора упругоотражённых электронов (BE), топографический (TOPO) и элементный (COMP) контрасты;
? получение стереоизображений образцов;
? изучение особенностей изображений, получаемых в растровом электронном микроскопе.
При выполнении настоящей лабораторной работы студент знакомится с принципом действия растрового электронного микроскопа и конструкцией прибора Jeol JSM-840, а также получает навык практической работы с ним.
Физические основы растровой электронной микроскопии.
Вторичная электронная эмиссия.
Контраст в растровом электронном микроскопе.
Устройство и работа растрового электронного микроскопа.
Общее устройство микроскопа.
Электронный зонд.
Детекторы электронов.
Формирование изображения в РЭМ.
Данная лабораторная работа направлена на ознакомление студентов с физическими принципами функционирования растрового электронного микроскопа (РЭМ) и основными методиками измерения.
Экспериментальная часть работы заключается в изучении растрового электронного микроскопа Jeol JSM-840, в том числе:
? получение изображения образца в различных режимах работы микроскопа:
в режиме сбора истинно вторичных электронов (SEI),
в режиме сбора упругоотражённых электронов (BE), топографический (TOPO) и элементный (COMP) контрасты;
? получение стереоизображений образцов;
? изучение особенностей изображений, получаемых в растровом электронном микроскопе.
При выполнении настоящей лабораторной работы студент знакомится с принципом действия растрового электронного микроскопа и конструкцией прибора Jeol JSM-840, а также получает навык практической работы с ним.
Физические основы растровой электронной микроскопии.
Вторичная электронная эмиссия.
Контраст в растровом электронном микроскопе.
Устройство и работа растрового электронного микроскопа.
Общее устройство микроскопа.
Электронный зонд.
Детекторы электронов.
Формирование изображения в РЭМ.