БГТУ, 2008, 40 стр
Введение
Историческая справка
Принципы работы сканирующего зондового микроскопа
Сканирующие элементы (сканеры) зондовых
Сканирующие элементы
Нелинейность пьезокерамики
Крип пьезокерамики и гистерезис пьезокерамики
Устройства для прецизионных перемещений зонда и образца
Механические редукторы
Шаговые электродвигатели
Шаговые пьезодвигатели
Защита зондовых микроскопов от внешних воздействий
Защита от вибраций
Защита от акустических шумов
Стабилизация термодрейфа положения зонда над поверхностью
Формирование и обработка СЗМ изображений
Процесс сканирования
Методы построения и обработки изображений
Вычитание постоянного наклона
Устранение искажений, связанных с неидеальностью сканера
Фильтрация СЗМ изображений
Медианная фильтрация
Методы восстановления поверхности по ее СЗМ изображению
Современные СЗМ
Заключение
Список литературы
Введение
Историческая справка
Принципы работы сканирующего зондового микроскопа
Сканирующие элементы (сканеры) зондовых
Сканирующие элементы
Нелинейность пьезокерамики
Крип пьезокерамики и гистерезис пьезокерамики
Устройства для прецизионных перемещений зонда и образца
Механические редукторы
Шаговые электродвигатели
Шаговые пьезодвигатели
Защита зондовых микроскопов от внешних воздействий
Защита от вибраций
Защита от акустических шумов
Стабилизация термодрейфа положения зонда над поверхностью
Формирование и обработка СЗМ изображений
Процесс сканирования
Методы построения и обработки изображений
Вычитание постоянного наклона
Устранение искажений, связанных с неидеальностью сканера
Фильтрация СЗМ изображений
Медианная фильтрация
Методы восстановления поверхности по ее СЗМ изображению
Современные СЗМ
Заключение
Список литературы