Мн.: БГУ, 2004, – 48 с.
Методические указания предназначены для студентов кафедры физики твердого тела и направлены на освоение метода резерфордовского обратного рассеяния и на развитие практических навыков определения из спектров обратного рассеяния состава гомогенных, гетерогенных и слоистых тонкопленочных систем, имеющих важное практическое значение в материаловедении и микроэлектронике. Пособие состоит из 5 лабораторных работ и рассчитано на 30 часов самостоятельной работы.
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие
Лабораторная работа No
Качественный элементный
анализ поверхности твердого тела методом резерфордовского
обратного рассеяния
Лабораторная работа No
Определение основных физических
параметров метода резерфордовского обратного рассеяния
Лабораторная работа No
Определение состава и толщины слоя
с помощью метода резерфордовского обратного рассеяния
Лабораторная работа No
Определение энергии активации
роста силицида металла
Лабораторная работа No
Построение концентрационных
профилей элементов с помощью метода резерфордовского
обратного рассеяния
Литература
Приложения
Методические указания предназначены для студентов кафедры физики твердого тела и направлены на освоение метода резерфордовского обратного рассеяния и на развитие практических навыков определения из спектров обратного рассеяния состава гомогенных, гетерогенных и слоистых тонкопленочных систем, имеющих важное практическое значение в материаловедении и микроэлектронике. Пособие состоит из 5 лабораторных работ и рассчитано на 30 часов самостоятельной работы.
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие
Лабораторная работа No
Качественный элементный
анализ поверхности твердого тела методом резерфордовского
обратного рассеяния
Лабораторная работа No
Определение основных физических
параметров метода резерфордовского обратного рассеяния
Лабораторная работа No
Определение состава и толщины слоя
с помощью метода резерфордовского обратного рассеяния
Лабораторная работа No
Определение энергии активации
роста силицида металла
Лабораторная работа No
Построение концентрационных
профилей элементов с помощью метода резерфордовского
обратного рассеяния
Литература
Приложения