Учеб. пособие. Мн.: БГУ, 1985, – 43с.
Предисловие
Потери энергии и пробег заряженных частиц в твердых телах
Профили распределения примесей по глубине многокомпонетных материалов и двумерные профили при ионной имплантации через маску
Смещения атомов при облучении
Образование при имплантации
Предисловие
Потери энергии и пробег заряженных частиц в твердых телах
Профили распределения примесей по глубине многокомпонетных материалов и двумерные профили при ионной имплантации через маску
Смещения атомов при облучении
Образование при имплантации