Энергоатомиздат, 1995. 176 с.
Табл. .2, Ил. .80, Библиогр. : 133 назв.
Впервые систематизированы исследования, относящиеся к применению ионно-рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи для анализа объемных и поверхностных свойств твердых тел. Рассматриваются физические основы этих методов. Приведена типичная аппаратура, результаты исследования состава, атомной структуры, морфологии и динамических свойств твердых тел.
Издание подготовлено при финансовой поддержке Госкомвуза России по программе Фундаментальные и прикладные взаимодействия плазмы с поверхности. Руководитель программы — академик Ю. А. Рыжов.
Рецензент В. В. Плетнев
Для научных работников и инженеров в области физической электроники, радиационной физики твердого тела, микроэлектроники, физики плазмы, аналитического приборостроения, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
Табл. .2, Ил. .80, Библиогр. : 133 назв.
Впервые систематизированы исследования, относящиеся к применению ионно-рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи для анализа объемных и поверхностных свойств твердых тел. Рассматриваются физические основы этих методов. Приведена типичная аппаратура, результаты исследования состава, атомной структуры, морфологии и динамических свойств твердых тел.
Издание подготовлено при финансовой поддержке Госкомвуза России по программе Фундаментальные и прикладные взаимодействия плазмы с поверхности. Руководитель программы — академик Ю. А. Рыжов.
Рецензент В. В. Плетнев
Для научных работников и инженеров в области физической электроники, радиационной физики твердого тела, микроэлектроники, физики плазмы, аналитического приборостроения, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.