Серия "Технология полупроводниковых приборов и изделий
микроэлектроники". В 10 кн.: Учебник для ПТУ. Кн
.2. - М.: Высшая школа, 1989. -96 с.: ил.
В книге описаны электрофизические свойства и строение материалов, используемых при производстве полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Рассмотрены полупроводниковые материалы, материалы, применяемые при их механической и химической обработке, фотолитографии, диффузии, защите и герметизации p-n переходов, а также для изготовления конструктивных элементов корпусов.
.2. - М.: Высшая школа, 1989. -96 с.: ил.
В книге описаны электрофизические свойства и строение материалов, используемых при производстве полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Рассмотрены полупроводниковые материалы, материалы, применяемые при их механической и химической обработке, фотолитографии, диффузии, защите и герметизации p-n переходов, а также для изготовления конструктивных элементов корпусов.